S-4500電界放出型走査電子顕微鏡 使用方法 精密分析室 2013/8/28.

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1 S-4500電界放出型走査電子顕微鏡 使用方法 精密分析室 2013/8/28

2 目次 21 停止操作 終了 3 準備・始動 4 試料の準備 挿入 8 二次電子像の観察 9 電子線の発生 11 二次検出器の選択
3　準備・始動 4 　試料の準備　挿入 8　二次電子像の観察 9　電子線の発生 11　二次検出器の選択 12　画像の明るさの調整 13　対物レンズ絞りの位置調整 14　軸出し調整 15　フォーカスの調整 16　非点収差補正 17　対物レンズの電流中心の調整 18　低倍率・画像ローテーションモード 19　画像保存 21 停止操作 22 保守 23　停電時および装置完全停止 24　停電復帰後および装置立ち上げ時 終了

3 準備・始動 ３ IP1 IP2 IP3 ランプが点灯している ２ DP/TMP,WATER,AIR PRESSランプが点灯している
５　DISPLAY POWER 　　スイッチをＯＮ １　EVAC POWERスイッチがオンになっている ４　IP1 IP2 IP3各真空度が下記値以下であること 　 　IP1・・・1.5X10-7Pa IP2・・・2X10-6Pa IP3・・・7X10-5Pa 目次に戻る

4 試料の準備 挿入 １ 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする ２ 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう
試料の準備　挿入 １　試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする ２　試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する ３　高圧が印可されている場合はHVをOFF ４　SPECIMEN STAGEがFREEになっているこ 　　とを確認 目次に戻る

5 ５ 試料微動装置のX,Y,R,T,Zを試料交換位置にする
Ｚ軸 Ｒ　回転 Ｔ　傾斜 Ｘ軸 Ｙ軸 ６　試料交換室(SEC)が真空排気されて 　　　いることを確認　緑点灯 ７　SC/SECスイッチがSEC側になっている 　　　ことを確認 目次に戻る

6 ８ SC/SECスイッチがSEC側になっていることを確認して、 AIRを押し試料交換室をリークする
９　SEC VALVEのOPENランプが 　　点灯すると同時に試料室内 　　のランプが点灯 OPEN 　点灯　MV-1が開いているとき 　　　　　点滅　MV-1がCLOSEのときで且つ開けて良い状態のとき CLOSE 点灯　MV-1が閉じているとき 　　　　　点滅　MV-1がOPENのときで且つ閉じるべき状態のとき １０　エアーロックレバーをＯ(OPEN)の位置にする １１　試料交換室を開け試料を交換棒に取り付ける 目次に戻る

7 １５ 試料交換棒を押し込み、微動装置にホルダをセットし、 試料交換棒のみ抜き取る
１２　EVACを押して試料交換室の真空を引く １３　SEC /VACUUM の 　　　　　表示ランプHIGHが点灯する １４　５分ほどしたら 　　　　MV-1をO(OPEN)にする １５　試料交換棒を押し込み、微動装置にホルダをセットし、 　　　　試料交換棒のみ抜き取る １６　MV-1をC(CLOSE)にする 目次に戻る

8 二次電子像観察 RUN/STOPはRUNに（ランプ点灯） MODE CONTROLはNORMALに SCAN SPEEDはTVに
目次に戻る MAGNIFICATIONは左回転で最低倍率に

9 電子線の発生 加速電圧を設定する ＰＦ１を押し任意の加速電圧を入力（上限は20kV 通常は15kV） 数値入力 –ENTER--EXIT
SC VACUUM のHIGH(緑)が点灯していることを 確認して　SC AIRLOCK VALVEをAUTO(OPEN) にする。この操作によりHV(ON)スイッチに連動 してAIR LOCK VALVEが開く 目次に戻る

10 HV READYが緑点灯していることを確認
フラッシングのメッセージがでたら フラッシュ操作　通常は不要　通常８～１２時間経過 ごとに行う、またFRASHの警告がでたとき 加速電圧の印可HV(ON) を押すと加速電圧が印可 されると同時にエアロック バルブが開く 2であることを確認 通常は確認の 必要はない 高圧OFFの状態にして FLASH STANBYを押す ランプが点滅状態になる その後HV ONスイッチを 押す 目次に戻る

11 二次検出器の選択 二次電子検出器には Upper とLowerがあり、通常高倍率にはUpper を 低倍率ならば Lowerを使用する
　　　　　　　　　アップしにくくなります 変更方法 １．PF2を押しE/O COLUMN CONDITION 1画面を出す ２．　　　　　で8を選択して　SE Detect 　　　　　でどちらかを選ぶ ３．ENTER EXITで終了 目次に戻る

12 画像の明るさの調整 自動調整 ABC切換ＳＷを＋（真ん中）にする ABCＳＷを押すと５秒程度で適当なコントラストになる
ビームモニタ電圧が適正範囲をはずれたとき点滅 ABCＳＷで自動調整をしてください ABCＳＷを押すと５秒程度で適当なコントラストになる 画面上波形をみながら信号波形が最高値と最低値 の中に収まるようにすれば適正です 手動調整 自動調整のコントラストを基点として BRIGHTNESS 及びCONTRAST　の　　　　　を押し 調整する 目次に戻る

13 対物レンズ絞りの位置調整 通常は必要ない １ 倍率を１万倍程度にする ２ ＰＦ３のApert.Alignを選択 STG/AL2を押しても
１　倍率を１万倍程度にする ２　ＰＦ３のApert.Alignを選択 ON/OFFの切換はキーボードの　　　で STG/AL2を押しても Apert.Alignに切り 換えることができる ３　対物レンズ絞りのＸ　Ｙ軸微調整を動かし 像の動きが最小になるよう調整する 絞りの大きさの調整、クリックで止まり大きさが選べる Ｘ軸微調整 Ｙ軸微調整 目次に戻る

14 軸出し調整 加速電圧を変更したときや、画像が暗くなってしまったときに行います １ PF3キーを押しBeam Alignを で選択する
２　ENTERキーを押すと対物絞りの円形の像が見える 　　これを画像の中心にくるようSTIGMA/ALIGHNMENT 　　X Yつまみで調整する　終わったらEXITキーを押す Beam Alignモードのとき点灯 目次に戻る

15 フォーカスの調整 自動調整 （ほとんど像が見えないほどフォーカスがずれているとき）
SEARCHスイッチをおし、続けてAUTOスイッチを押すと 数秒後にフォーカス調整された像が表示される ブザーが鳴った場合は自動調整がうまくいかなかった ときです SEARCHスイッチを押すと画面は波形表示になり フォーカスがあったとき波形の変化が最大になる 目次に戻る

16 非点収差補正 AUTO(STIGM)自動で非点補正をする STIGMA/ALIGNMENT X Y 注：非点補正をするときはフォーカス
非点収差がない場合　フォーカスで均一にぼやける アンダーフォーカス　　　最良点　　　　オーバーフォーカス 非点収差がある場合　フォーカスで不均一にぼやける STIGMA/ALIGNMENT X Y 注：非点補正をするときはフォーカス をあわせながら調整する ぼけの方向が違ってくる 目次に戻る

17 対物レンズの電流中心の調整 フォーカス調整により像が移動するときは対物レンズの電流中心がずれています
１　１万倍くらいで目立ちやすい部分をだします ２　STG/AL2スイッチを押してApert.Alignモードにする ３　STIGMA/ALIGNMENT X Yで像の動きが最小になるよう 　　調整する　終わったらSTG/AL2モードを解除する 目次に戻る

18 低倍率モード・画像ローテーションモード スキャン方向を回転するときONにして任意に回転 DYNAMIC FOCUSモード 取説6-1-3参照
　試料傾斜角度が大きくなると、対物レンズから試料までの距離が、試料の位置により 　　変化するため、視野の一部しかピントが合わなくなります。電子ビームの走査と同期 　　して、対物レンズの焦点距離を変化させ試料全面にピントを合わせます。 LOW MAGモード（最低２０倍までできる） 傾斜試料の補正をするとき（像のひずみ補正） 使用しないときは必ずOFF 目次に戻る

19 設定でファイル形式、保存場所、名前を指定
Windows8からの画像保存方法 ＬｉｇｈｔＣａｐｔｕｒｅを起動する 設定でファイル形式、保存場所、名前を指定 静止画をクリックで保存 目次に戻る

20 USBの取り出し方 Windows8の終わり方 保存が終わるとピクチャー画面になるので 左上コーナーをクリックしてデスクトップ画面に戻る
カーソルを画面右上から外にずらすとメニューが出ます 目次に戻る

21 停止操作 必要に応じて試料を取り出し、試料交換室は真空にしておく SC AIR LOCK VALVEスイッチをCLOSEにする
HV (OFF)スイッチを押して 電子線停止 DISPLAY POWERスイッチを切る 目次に戻る

22 保守 対物絞りの交換 試料を落下させたときの方法
保守　対物絞りの交換　試料を落下させたときの方法 １　HVをOFFにする ２　S.C AIR LOCK VALVEをCLOSEにする ４　排気操作パネルSC/SECをSCにする ３　対物絞りの加熱ＳＷをOFFにする 　　（真ん中がOFFの位置） 　　　　　　　　　　　　　３０分程度まつ 目次に戻る

23 ６ エアーロックレバー(MV-1)をO側にする 数分後の試料室が大気圧になる
５　排気操作パネルのAIRを押す ６　エアーロックレバー(MV-1)をO側にする　 　　　数分後の試料室が大気圧になる ７　落下試料を取り出すときは、 　　　試料移動装置を４本のネジを 　　　ゆるめてゆっくり引き出す 　　　終わったら戻す ８　排気操作パネルのEVACを押す １０　SC/SEC スイッチをSECにする ９　数分後にSEC VALVEのCLOSEランプが点滅しはじめたら 　　　エアーロックレバーをCにする 目次に戻る

24 真空を破って最低３時間ぐらいしてから高圧を印可する
１１　SCランプが緑になった完了です １２　対物絞りのHEATスイッチを 　　　　DEGASにして１時間位おく １３　対物絞りのHEATスイッチをONにする 真空を破って最低３時間ぐらいしてから高圧を印可する 目次に戻る

25 停電時および装置完全停止 1. S.C AIRLOCK VALVEをCLOSE 2. DISPLAY POWERをOFF
3. EVAC POWERをOFF 4. イオンポンプ電源のIP POWER,EVAC POWER,DISPLAY POWERスイッチをOFF 5. IP1,IP2,IP3スイッチをOFF 6. MAINスイッチ OFF 7. １５分後に水を止める 目次に戻る

26 停電復帰後および装置立ち上げ時 1. 水を流します 3. IP1,IP2,IP3スイッチをON
2. 白いボタンを押しPUSHスイッチを押しながら 　　MAINスイッチをON 4. イオンポンプ電源のIP POWER,EVAC POWER,DISPLAY POWERスイッチをON 目次に戻る

27 8. 試料交換装置のエアーロックレバーをOにする 数分後SEC VALVE のCLOSEランプが点滅を始めたら エアーロックレバーをCにする
5. APATUREを真ん中のOFFにする 6. EVAC POWERをON この時コンプレッサーの圧力が低いため 警報が鳴ります（しばらくすると止まる） 7. SC/SECをSCにしEVACをON 　１５分でDP/TMPが点灯します 8. 試料交換装置のエアーロックレバーをOにする 　数分後SEC VALVE のCLOSEランプが点滅を始めたら 　エアーロックレバーをCにする 9. SC/SECスイッチをSECにする 10. IP-1,IP-2,IP-3が起動しないときはIP-1,IP-2,IP-3 のRESETスイッチを数秒押す 11. 十分真空が良くなったらAPATUREをHEATにする 目次に戻る