CONFIDENTIAL 1 LSI テストデータの迅速簡単なソリューション データ解析 特性評価 歩留まり最適化 テストデータレポート生成 Galaxy Semiconductor Examinator 5 分間トレーニング 全世界で 2000 を超えるユーザ数 マウスクリックで次のスライ ドへ.

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1 CONFIDENTIAL 1 LSI テストデータの迅速簡単なソリューション データ解析 特性評価 歩留まり最適化 テストデータレポート生成 Galaxy Semiconductor Examinator 5 分間トレーニング 全世界で 2000 を超えるユーザ数 マウスクリックで次のスライ ドへ

2 CONFIDENTIAL 2 Examinator ：標準レポート マウスクリックのみで各種レポートが生成可 能 : マウスクリックで次のスライ ドへ ・ 統計テーブル ・ ヒストグラム ・ 解析パレット ・ トレンドチャー ト ・ 相関解析 ・ ウェハマップ

3 CONFIDENTIAL 3 Examinator ：ブラウザーベースの GUI ソフトウェア環境 :  簡単操作 : アイコンクリックにて実行  迅速アクセス : サーバセットアップやデータベースは不要  データファイルを直接読み込み : コンバータは不要 ツールバー :  ブラウザページ : 複数ページの簡単閲覧  クリップボードへのキャプチャーアイコン  レポートページ印刷 ( プリンター, PDF,…)  Help ページ マウスクリックで次のスライ ドへ

4 CONFIDENTIAL 4 Examinator ：シンプルタグ形式 下記 5 ページのタグで構成 マウスクリックで次のスライ ドへ ・ Home ：処理内容の選 択 ・ Data ：データファイルの 選択 ・ Settings ：生成レポートの選 択 ・ Report ：レポートの表示と解 析 ・ Options ：カスタマイズ設 定

5 CONFIDENTIAL 5 Step#1 ：処理内容の選択（ Home ） マウスクリックで次のスライ ドへ Analyze one file ：単数ファイルの解析（統計データの総覧、 ヒストグラム、ウェハマップ、トレンド、 … ） Compare files ：ファイル比較、テスタ間やサイト間の相関解 析、 … ドリフトアラームハイライトの相関レポート Merge files ：複数ファイルや特定期間内のプロダクションデ ータの解析（日付、ロット名、テスタなどの各 ID によるフィ ルタリング） 更なるマージやコンペア処理

6 CONFIDENTIAL 6 このページは、 Step#1 の処理内容を選択することで自動的に 表示されます。 Step#2 ：データファイルの選択 （ Data ） 選択したファイルをクリックすると、パーツ、ビン、サイト などの指定による特定データのフィルタリングが行えます。 ファイル設定が完了したらクリックします。 マウスクリックで次のスライ ドへ 最初にファイルを選択しますが、 Merge files 時には、日付設 定によるファイルサーチが行えます。（ Smart import ） ファイルを一つずつ選択します。（ Select File ）

7 CONFIDENTIAL 7 Step#3 ：生成レポートの選択（ Settings ） / 処理 開始 マウスクリックで次のスライ ドへ 生成したいレポートを設定します。  Statistics ：（統計データテーブルを作成しま す。）  Wafermap ：（ビン結果やパラメトリック測定 値のウェハマップを生成します。）  Histograms ：（ヒストグラムを作成します。 ）  More reports ：（ゲージ R&R 、相関関係解析、 理想規格値提案などのその他のレポートを作成し ます。） 処理開始ボタン

8 CONFIDENTIAL 8 Step #4 ：レポートの表示と解析 （ Report ） 表示させたい各種レポートをクリッ ク マウスクリックで次のスライ ドへ 生成された HTML ページの Path

9 CONFIDENTIAL 9 カスタマイズ： Options マウスクリックで次のスライ ドへ レポート内容のカスタマイズ（デフィルト含む各 種設定）が数クリックで対応可能  生成レポート形式の変更（ Word, Excel, PPT, PDF など ）  アウトライヤー除外の方針設定  レポートマーカー、表示域、プロットタイプの設定  その他、各種設定

10 CONFIDENTIAL 10 レポート例１：テスト・サマリ マウスクリックで次のスライ ドへ

11 CONFIDENTIAL 11 レポート例２：テスト・ヒストグラム マウスクリックで次のスライ ドへ

12 CONFIDENTIAL 12 レポート例３：トレンドチャート（ 2D/3D チャート） マウスクリックで次のスライ ドへ

13 CONFIDENTIAL 13 レポート例４：ウェハマップ（ 2D/3D チャート） マウスクリックで次のスライ ドへ

14 CONFIDENTIAL 14 レポート例５：キャンドル・チャート （ 2D/3D チャート） マウスクリックで次のスライ ドへ

15 CONFIDENTIAL 15 レポート例６：相関レポート マウスクリックで次のスライ ドへ

16 CONFIDENTIAL 16 ご視聴、ありがとうござい ました。