2006.3.2 現在 5-002 電気炉 RTO 酸化炉 プラズマ CVD 電子ビーム 蒸着 シングルイオン 注入装置 DEEP ICP RIE CCP RIE 有機 ｱﾙｶﾘ 酸 有機 無機 電子ビーム 露光装置 (S-4300) UV 露光 装置 前室 更衣室 空調機械室 用役機械室 用役室 B1F.

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1 2006.3.2 現在 5-002 電気炉 RTO 酸化炉 プラズマ CVD 電子ビーム 蒸着 シングルイオン 注入装置 DEEP ICP RIE CCP RIE 有機 ｱﾙｶﾘ 酸 有機 無機 電子ビーム 露光装置 (S-4300) UV 露光 装置 前室 更衣室 空調機械室 用役機械室 用役室 B1F 2m 超純水 S O2 Ar N2 スピンコーター (RC8) ダムウエーター 自吸式呼吸器 ｴｱ ｼｬﾜｰ 装置配置図 レーザ顕微鏡 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ ( 廃液回収用 ) コンプレッサ ( 各種機器用 ) 真空ポンプ 昼夜連続運転機器 ドラフト 明暗視野 顕微鏡 MZ50 レジス ト保管 庫 保管棚 ﾏｽｸﾚｽﾅﾉ構造 形成装置 ( ｴﾘｵﾆｸｽ ) S 光干渉式 膜厚計 薬品庫廃液保管庫 冷蔵庫 5-001 作業台 S 触針式 膜厚計 サーモバック 制御電源 ：自吸式呼吸器 S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：消化器 ：緊急警報 ：消火栓 ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀ プラズマリアクタ UVO 3 クリーナー ｽﾋﾟﾝｺｰﾀ ( ミカサ )

2 2006.3.2 現在 ICP-RIE ＦＩＢ ガス保管庫 COE/NFD 事務室 ｱﾙｶﾘﾌｯ酸酸有機 前室 更衣室 1F 2m O 2 ボンベ Ar ボンベ N 2 ボンベ S S 薬品庫 会議室 ダムウエーター 廃液保管棚 監視モニター 酸欠警報 BOX 遠方操作盤 連動操作盤 コンプレッサ 中和装置 電子ビームリソグラ フィ （局所化学修飾装 置） ホットエンボス EVG520 スパッタ装置 (SPC350) スパッタ装置 (SPF332H) スプレーコーター EVG101 精密天秤精密天秤 消火栓 ｴｱ ｼｬﾜｰ 装置配置図 Ｈ２ボンベ （警報） S 酸素濃度センサ 監視モニタ 昼夜連続運転機器 ドラフト 屋外窒素発生器 液化窒素供給設備 危険物一時保管庫 ボンド用アライナ ( ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ ) EVG620 アニール炉 S ：自吸式呼吸器 S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：消化器 ：緊急警報 ：消火栓 ﾌﾟﾗｽﾞﾏ 表面処理 装置 EVG810 ﾌﾞﾗｼ付ﾒｶﾞｿﾆｯｸ洗浄装置 ＥＶＧ３０１ 地震監視システム 測長顕微鏡測長顕微鏡 ﾃﾞｼﾞﾀﾙ ﾏｲｸﾛｽｺｰﾌﾟ 超精密天秤超精密天秤 定温 乾燥機 デシケータ エキシマ 照射装置 Miniscope 及ｲｵﾝｺｰﾀ

3 2006.3.2 現在 204 ナノ 計測ルーム 電気化学 プロセスルーム 有機 ｱﾙｶﾘ ﾌｯ酸 ｱﾙｶﾘ 精密天秤 超純水製造装置 走査プローブ 顕微鏡 酸 ２F２F 2m 流し 多目的 実験台 蛍光観察装置 ダムウエーター 有機 ｱﾙｶﾘ 酸 給湯器 流し 201205 グロー放電装置 磁気工学測定装置 FE-SEM 電気化学 プロセスルーム 203 緊急シャワー 装置配置図 電気特性計測 ダイシングソー ボンダ、ダイボンダー ＡＦＭ装置 共通薬品庫 汎用ＳＥＭ ＷＹＣＯ 量子干渉型磁束計 ＣＶメータ 半導体パラメータ アナライザー プローバ ＳＥＭ前処理装置 流し ：自吸式呼吸器 S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：消化器 ：緊急警報 ：消火栓 ESCA 消耗品棚 ＣＭＰ - ２ ﾃﾝｺｰﾙ 薬品保管 冷蔵庫 DMFC 関連装置 薬品庫 分光光 度計 メッキ装 置 微分干渉 顕微鏡 冷蔵庫 薄膜物性 評価装置 恒温プローバ 超精密天秤 ﾒｶﾞｿﾆｯｸ 洗浄槽 202 CMP 研磨システム 純水生成 装置 A B C CMP-1 卓上用 多目的実験 スペース 人材育成電 解ﾒｯｷ装置 CCD 顕微鏡

4 2006.3.2 現在 変更履歴 ０６．３．２の変更 1F-CR…… エキシマ照射装置、卓上 SEM(Miniscope) 及びイオンコータを追加。プラズマ ICP を ICP-RIE に名称改 正。 2F-202…… メッキ装置関連機器を電解メッキ装置（人材育成）に変更。 CCD 顕微鏡を表示。分光光度計を追加。