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Process log Result of replica analysis Summary
MHI#16号機のレプリカ解析 Process log Result of replica analysis Summary Period : 2011/4/4 ~ 4/8 Process : Analyzing replicas for defects at cell #1	 Workers : Kirk (KEK), M. Asano (Nihon Advanced Technology) STF Cavity Group Kirk
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Process log of replica analysis
4/4 Replicas completed 4/5 Analyzing replicas 4/6 Analyzing replicas 4/7 Analyzing replicas 4/8 Making report STF Cavity Group 2
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Defect on bead at Cell #1 after EP2
As received After EP1 After EP2 20μmのEP2では 何の変化も見られない STF Cavity Group 3
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New Defect on bead at Cell #9 after EP2
20μmのEP2を行ったところ、中から発掘された。 サイズは小さいように見えるが、全てが出てきていない 可能性もあるので、次にもう一度EP2を行うとどうなるか不明。 STF Cavity Group 4
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内面検査結果 (1cell 97 °) MHI-16 1cell equator, t=97 deg. Height [μm]
Bp-bottom cell, t=0 deg Z-axis
![内面検査結果 (1cell 97 °) MHI-16 1cell equator, t=97 deg. Height [μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/5/%E5%86%85%E9%9D%A2%E6%A4%9C%E6%9F%BB%E7%B5%90%E6%9E%9C+%281cell+97+%C2%B0%29+MHI-16+1cell+equator%2C+t%3D97+deg.+Height+%5B%CE%BCm%5D.jpg "Bp-bottom cell, t=0 deg. Z-axis.")
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内面検査結果 (9cell 163 °) MHI-16 9cell equator, t=163 deg. Height [μm]
Bp-bottom cell, t=0 deg Z-axis
![内面検査結果 (9cell 163 °) MHI-16 9cell equator, t=163 deg. Height [μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/6/%E5%86%85%E9%9D%A2%E6%A4%9C%E6%9F%BB%E7%B5%90%E6%9E%9C+%289cell+163+%C2%B0%29+MHI-16+9cell+equator%2C+t%3D163+deg.+Height+%5B%CE%BCm%5D.jpg "Bp-bottom cell, t=0 deg. Z-axis.")
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350倍 Sample # 01 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 75.8[μm]×216.9[μm]
![350倍 Sample # 01 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 75.8[μm]×216.9[μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/7/350%E5%80%8D+Sample+%23+01+%281cell+97%C2%B0%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E5%82%BE%E3%81%8D%E8%A3%9C%E6%AD%A3+%E7%84%A1+%3A+75.8%5B%CE%BCm%5D%C3%97216.9%5B%CE%BCm%5D.jpg "350倍 Sample # 01 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 75.8[μm]×216.9[μm]")
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350倍 Sample # 03 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 69.5[μm]×218.5[μm]
![350倍 Sample # 03 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 69.5[μm]×218.5[μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/8/350%E5%80%8D+Sample+%23+03+%281cell+97%C2%B0%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E5%82%BE%E3%81%8D%E8%A3%9C%E6%AD%A3+%E7%84%A1+%3A+69.5%5B%CE%BCm%5D%C3%97218.5%5B%CE%BCm%5D.jpg "350倍 Sample # 03 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 69.5[μm]×218.5[μm]")
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350倍 Sample # 04 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 92.3[μm]×225.3[μm]
![350倍 Sample # 04 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 92.3[μm]×225.3[μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/9/350%E5%80%8D+Sample+%23+04+%281cell+97%C2%B0%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E5%82%BE%E3%81%8D%E8%A3%9C%E6%AD%A3+%E7%84%A1+%3A+92.3%5B%CE%BCm%5D%C3%97225.3%5B%CE%BCm%5D.jpg "350倍 Sample # 04 (1cell 97°タイリング) 傾き補正 無 : 92.3[μm]×225.3[μm]")
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700倍 Sample # 05 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 31.1[μm]×107.2[μm]
![700倍 Sample # 05 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 31.1[μm]×107.2[μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/10/700%E5%80%8D+Sample+%23+05+%289cell+163%C2%B0%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E5%82%BE%E3%81%8D%E8%A3%9C%E6%AD%A3+%E7%84%A1+%3A+31.1%5B%CE%BCm%5D%C3%97107.2%5B%CE%BCm%5D.jpg "700倍 Sample # 05 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 31.1[μm]×107.2[μm]")
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700倍 Sample # 06 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 36.2[μm]×104.2[μm]
![700倍 Sample # 06 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 36.2[μm]×104.2[μm]](http://slidesplayer.net/slide/11198851/60/images/11/700%E5%80%8D+Sample+%23+06+%289cell+163%C2%B0%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E5%82%BE%E3%81%8D%E8%A3%9C%E6%AD%A3+%E7%84%A1+%3A+36.2%5B%CE%BCm%5D%C3%97104.2%5B%CE%BCm%5D.jpg "700倍 Sample # 06 (9cell 163°タイリング) 傾き補正 無 : 36.2[μm]×104.2[μm]")
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200倍 400倍 Sample # 01 (レーザー顕微鏡 1cell 97°)
defect size: 105.3[μm]×231.6[μm] defect size: 90.2[μm]×223.6[μm]
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200倍 400倍 Sample # 03 (レーザー顕微鏡 1cell 97°)
defect size: 114.9[μm]×230.1[μm] defect size: 84.0[μm]×219.9[μm]
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200倍 400倍 Sample # 04 (レーザー顕微鏡 1cell 97°)
defect size: 90.2[μm]×228.7[μm] defect size: 110.0[μm]×220.7[μm]
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400倍 1000倍 Sample # 05 (レーザー顕微鏡 9cell 163°)
defect size: 32.5[μm]×107.8 [μm] defect size: 28.0[μm]×104.9[μm]
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400倍 1000倍 Sample # 06 (レーザー顕微鏡 9cell 163°)
defect size: 32.4[μm]×105.6[μm] defect size: 28.7[μm]×103.1[μm]
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MHI#16 1cell 97°のdefectの高さ 顕微鏡 Sample #01 Sample #03 Sample #04 (傾き補正前） (傾き補正後） デジタル 350倍 67.0 66.0 62.4 65.1 93.5 89.8 700倍 76.5 80.4 63.9 65.8 92.0 93.0 レーザー200倍 105.3 114.9 90.2 400倍 84.0 110.0 ※1 単位：μm ※2 すべて凸
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MHI#16 9cell 163°のdefectの高さ 顕微鏡 Sample #05 Sample #06 (傾き補正前） (傾き補正後） デジタル 350倍 13.8 15.1 10.6 6.1 700倍 23.8 21.5 20.5 レーザー400倍 32.5 32.4 1000倍 28.0 28.7 ※1 単位：μm ※2 すべて凸
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STF Cavity Group Meeting @2011/4/11
まとめ MHI#16号機で見つかった２カ所のdefectのレプリカを取り、３次元解析を行った。 いずれも形状はバンプ状（凸型）であった。 レーザー顕微鏡で測定した数値の方がやはり高めであった。 空調が止まっていたため、硬化剤の固まり具合が通常と異なり、なかなか固まらなかった。硬化温度が低すぎるのか、３～４時間しないと完全な硬化に到らなかった。 STF Cavity Group 19
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