高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer

Presentation on theme: "高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer"— Presentation transcript:

1 高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer

2 Pressure-Analog output Pulse Interval Counter
システム概要 System Outline　 一般的な隔膜真空計 General Type F-ton New Technology Analog Architecture Digital Architecture Pressure-Analog output Transducer Pressure-PIM Transducer Noise Analog signal (0-10V) Pulse signal Display unit Display unit Pulse Interval Counter / MPU Analog-Digital Converter センサの非線形性・温度依存性を アナログで補正（不正確）　 アナログ-デジタル変換により 精度・分解能が悪化 センサケーブルなどから電磁ノイズ 混入 校正に手間と時間がかかる （高コスト） デジタル回路との整合性に優れたPIM (Pulse Interval Modulation)を採用 センサの非線形性、温度依存性をデジタル 演算により完全に補正 パルス信号伝送のためノイズ耐性飛躍的 向上 全自動・短時間校正が可能

3 センサ概要 Sensor Outline Pressure = f (Cap) Silicon Fixed Electrode
Reference Pressure SiO2 SiO2 Silicon Diaphragm Getter Measurement Pressure

4 特 長 Features 高分解能 High Resolution 表示分解能：1/1000000
高精度 High Accuracy 　　精度：0.1% of Reading 高ノイズ耐性 High Noise Resistance 　　パルス信号伝送方式→ノイズ耐性向上 デジタル整合性 Excellent Compatibility with Digital Network 　　高速データ通信(RS-485)標準装備 コンパクト Compact 　　小型シリコンダイアフラム採用→容積1/2以下 FTR-1 F-133K

5 システム構成 System configuration
シリアル通信 アナログ出力 RS-485 コネクタ ACCESSORY コネクタ セットポイント出力 リモートZERO入力 センサ校正情報メモリ 測定ケーブル 表示器 FTR-1 供給電源 DC24V センサ F-133K

6 仕 様 Specifications 形式 Model FTR-1 (Display) + F-133K (Sensor)
フルスケールレンジ Full Scale Range 1000Torr (133kPa) 測定分解能（表示分解能） Measurement Resolution　(Display Resolution) 0.01% of F.S. (1ppm of F.S.) 精度 Accuracy 0.1% of Reading 温度係数 Temp. Coefficients ゼロ Zero 0.0004% of F.S./deg. スパン Span 0.002% of Reading/deg. アナログ出力 Analog output 0 to +10 VDC into > 10k Ohm セットポイント出力 Set Points 3 open collector transistors rated 30VDC インターフェース Interface RS-485 4wire full duplex 供給電源 Power Supply 0.2A 運転温度 Operating Temperature Range 10 to 50 deg. 真空部材質 Materials exposed to Vacuum Silicon, SiO2, SUS304, Viton 継手 Fittings 8VCR, NW16

7 Repeatability　

8 温度特性 Thermal error　

9 校正システム Calibration System
N2 inlet Mass Flow Controllers Temperature/ Humidity Control chamber vent ccm1 ccm2 slm Vacuum chamber manifold rough main slow cut1 cut2 F-Tron F-Tron TMP Ref1 Ref2 Ref3 F-Tron F-Tron F-Tron Reference Vacuum Gauges back DP PCで全て制御、データ収集 校正データ生成 性能評価