SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡 使用方法 精密分析室 2014/11/20.

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1 SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡 使用方法 精密分析室 2014/11/20

2 目次 終了 3 準備・始動 4 試料の準備 挿入 6 電子線の発生 7 二次電子像の観察 11 反射電子像の観察 10 STEM像の観察
3　準備・始動 4 　試料の準備　挿入 6　電子線の発生 7　二次電子像の観察 11　反射電子像の観察 10　STEM像の観察 11　画像の調整 12　非点収差補正 13　画像の保存 14　試料交換の方法 15　観察の終了 16　装置の停止 17 フラッシングとメニューボタン変更 18　ＭＥＮＵ階層１ 19　ＭＥＮＵ階層２ 21 　停電時および装置完全停止 22 　停電復帰後および装置立ち上げ時 23　試料室に空気を導入時の操作　 終了

3 準備・始動 １. DISPLAY SWをONにして 装置を立ち上げる ２. SU-8000をクリック ３. パスワードは無く リターンを押す
　　装置を立ち上げる ２.　SU-8000をクリック ３.　パスワードは無く 　リターンを押す PC-SEMが起動 ４.　HV表示部をクリックしてHV設定 　　メニューを表示させる ５.　フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング 強度が２であることを確認して実行する 目次に戻る

4 試料の準備 挿入 １ 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする ２ 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう
試料の準備　挿入 １　試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする ２　試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する ３　オペレーションパネル/ステージで試料サイズを 　　2inchesで試料の横幅を設定する 　　試料高さはStandardを選択 Standard ４　加速電圧がOFFであることを確認する 原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する 　　Ｚは８mmも確認 目次に戻る

5 ５ AIRを押し試料交換室が大気になるとブザー が鳴る
　　が鳴る ６　試料交換室を手前に引き、試料交換室 　　を押さえながら交換棒を押し出す UNLOCK　にした交換棒の先端に試料ホル ダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーを 　　　　セットする ７　交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く 10　交換棒をUNLOCKにし、 　　交換棒がカチッと音が 　　　するまで引く ８　交換室を押し、EVACボタンを押して真空が 　　上がるとブザーが鳴る 11　CLOSEボタンを押すと ブザー音が鳴る ９　OPENボタンを押して試料交換室のガラス 　　窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してＸｃ 　　ランプがつくまで押し込んで試料をセット 　　する 目次に戻る

6 電子線の発生 １．ステージで試料サイズ・高さを入力する ２．基本/電子光学系条件 プローブ電流 Norm ＥＤＳで感度が弱いときは
　　ＥＤＳで感度が弱いときは 　　Highにする 　　ＷＤ　8.0mm 　　検出器　SE ３．加速電圧をON　通常は15kV 試料は時計方向に９０°回転して観察される 目次に戻る

7 二次電子像の観察 Coarse 明るさ Fine フォーカス 目次に戻る 倍率 非点補正・軸調整
クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ スキャンスピード アパーチャーアライメント ダイレクトセーブ スキャンの開始・停止 オートフォーカス オート画像調整 オートブライトコントロール キャプチャーボタン 右のアルファベットがスピード 低倍　高倍切り替え イメージシフト 明るさ コントラスト Coarse Fine 倍率 非点補正・軸調整 フォーカス 目次に戻る

8 反射電子像の観察 １．ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入 するこの際Ｚは必ず７mm以上にする
２．ステージタブのBSEがオレンジになっていることを確認する ３．ステージタブの信号選択でPDBSEを選択する ４．詳細設定から検出器の設定をする ５．素子の組み合わせで３つの 　　構成が選べる 目次に戻る

9 ６．信号処理調整する ７．終わったらハンドルを右回りにまわして 検出器をもどしておく ８．Ｚを８にして、 信号選択をSED２次電子にもどす
　　検出器をもどしておく ８．Ｚを８にして、 　　信号選択をSED２次電子にもどす 目次に戻る

10 ＳＴＥＭ像（明視野、暗視野）の観察 １．試料をホルダーにセットして 通常の方法で試料室にセット する 明視野用 暗視野用
　　通常の方法で試料室にセット 　　する 明視野用　　　　暗視野用 ２．加速電圧は２０～３０ｋＶで使用する 　　信号選択はＴＥにする 目次に戻る

11 画像の調整 １．フォーカスを変化して像が動くときは アライメント（ビーム、アパーチャ）調整 を押してＸ、Ｙを調整して像の動きを止める
　　アライメント（ビーム、アパーチャ）調整 を押してＸ、Ｙを調整して像の動きを止める スティグマ　　　　　　　　　　　明るさ　　　コントラスト 倍率　　　　　　　　　　　　　　　　　　　フォーカス 目次に戻る

12 非点収差補正 AUTO(STIGM)自動で非点補正をする STIGMA/ALIGNMENT X Y 注：非点補正をするときはフォーカス
非点収差がない場合　フォーカスで均一にぼやける アンダーフォーカス　　　最良点　　　　オーバーフォーカス 非点収差がある場合　フォーカスで不均一にぼやける STIGMA/ALIGNMENT X Y 注：非点補正をするときはフォーカス をあわせながら調整する ぼけの方向が違ってくる 目次に戻る

13 SE LA-BSE HA-BSE 信号による特質 信号電子 性質 場面 目次に戻る 信号量が多く、検出効率も高い 最表面で発生し高分解能
　　　　　性質 　　　　　場面 SE 信号量が多く、検出効率も高い 最表面で発生し高分解能 エッジコントラストが強い 電位コントラストが得られる チャージアップの影響を受けやすい チャージアップしない試料の一般観察 試料最表面の超高分解能形態観察に有利 LA-BSE 信号量は少ない 組成情報と形状情報が混在 内部情報が得られる エッジコントラストが弱い チャージアップの影響が小さい チャージアップする試料の一般観察 組成情報の強調 エッジコントラストの低減 適用可能分野が比較的広い HA-BSE 組成情報多く、形状情報は少ない 組成コントラストの強調 内部情報の観察 材料によっては、信号の発生率が極めて小さい 目次に戻る

14 画像の保存 １．スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影 ２．画像リスト内の必要な画像を
クイックセーブのときは　ファイル/クイックセーブ から保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を 自動でつけて保存してくれる １．スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影 ２．画像リスト内の必要な画像を 　　選択（黄色の枠内）し、 　　保存ボタンを押す 目次に戻る

15 試料交換の方法 １．加速電圧をOFF ２．試料位置を原点に戻す ３．OPENボタンを押しブザー音がなる
４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる 　　までの挿入する ５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 　　交換棒をストッパーがかかるまで引く ６．CLOSEボタンを押しブザー 　が鳴ったらAIRボタンを押して、 　ブザーが鳴るまで待つ ７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 　　交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す 目次に戻る

16 観察の終了 １．加速電圧をOFF ２．試料位置を原点に戻す ３．OPENボタンを押しブザー音がなる
４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる 　　までの挿入する ５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 　　交換棒をストッパーがかかるまで引く ６．CLOSEボタンを押しブザー 　が鳴ったらAIRボタンを押して、 　ブザーが鳴るまで待つ ７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 　　交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す ８．交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けてEVACを押す 目次に戻る

17 装置の停止 ＯＦＦ １．交換室パネルのＥＶＡＣが点灯していることを 確認する ２．PC-SEMとWindowsを終了する
　　確認する ２．PC-SEMとWindowsを終了する ３．コンソール右のDISPLAYスイッチをOFFにする 　　チラーの電源と連動しているので、忘れない 　　ように ＯＦＦ 目次に戻る

18 フラッシングとメニューボタンの変更 フラッシングをするときは ここをクリック 　をクリックすると ボタンが変更 できる ２を確認 目次に戻る

19 Ｍｅｎｕ階層１ 目次に戻る

20 Ｍｅｎｕ階層２

21 長いほどチャージしやすい

22 停電時および装置完全停止時の操作 １．日常停止操作を行う ２．排気系操作パネルの EVAC POWERスイッチをOFFにする
３．対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ３５分後に停止する 　　排気系操作パネルの表示部にPOFFが表示されれば停止完了です ４．排気系操作パネルのイオンポンプの電源 　　　スイッチ(IP 1—3)をOFFにする 　　ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、 　　　IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE 　　の各ブレーカーをOFFにした後、 　　MAINブレーカーをOFFにする ５．配電盤のブレーカーを 　　　OFFにする 目次に戻る

23 停電復帰後および装置立ち上げ時 １．配電盤の電源ブレーカーを投入する。 冷却水を流し（本体背面の流量
　冷却水を流し（本体背面の流量 　メーターが1.0～1.5L/minであることを確認 ２．ディスプレイ背面の電源ブレーカーの MAINブレーカーをONにする 停電で停止した場合、ブレーカーがOFFに なっていない場合はいったんすべての ブレーカーをOFFにしてから電源を投入して下さい ３．IP,EVAC,DISPLAYの各ブレーカーをONにする。(OUTER BAKEは通常はOFF) ４．排気系操作パネルのSTAGE POWER,EVAC POWER,イオンポンプ電源SW(IP 1---3) をONにするリセットＳＷのランプが点灯しないときはリセットＳＷを押す 目次に戻る

24 試料室に空気を導入時の操作 １．電子銃高圧をOFFにする ２．対物レンズ可動絞りの加熱を OFFにして３０分まつ
３．ＳＣ　ＡＩＲスイッチを３秒間押す。スイッチのランプが点滅状態になり、 　　　空気導入シーケンスがスタートする。 試料室の排気 ４．排気系操作パネルのＳＣ　ＥＶＡＣを押す、スイッチが点滅を始め 　　　試料室排気シーケンスがスタートする。３０分程度で排気完了 　　　するが、高圧印可まで１時間以上まつ。 ５．ＳＣ　ＥＶＣスイッチが点灯してから３０分経過後、対物レンズ可動絞り 　　　加熱スイッチをＤＥＧＡＳにして加熱を始める。 　　　約１時間後ＡＵＴＯにする 目次に戻る