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「MEMS集中講義 in 京都」 講師：江刺正喜、戸津健太郎、木股雅章(立命館大学)、高木秀樹(産総研)、小林健(産総研) 、田中秀治、鈴木健一郎(立命館大学)、前田龍太郎(産総研) 、芳賀洋一、西澤松彦、小野崇人 日時：8/9(火), 10(水), 11(木) 9:30（初日10:00）～18:00 (1日目 交流会18:00 ～20:00) 8/12(金) 立命館大学(びわこ草津ｷｬﾝﾊﾟｽ) 先端ﾏｲｸﾛ･ﾅﾉｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ 見学会 場所：立命館大学朱雀キャンパス大講義室 (京都市中京区西ノ京朱雀町１) 主催： 東北大学マイクロシステム融合研究センター、MEMSパークコンソーシアム、立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター、産総研集積マイクロシステム研究ｾﾝﾀｰ 参加費：無料、但し交流会はMEMS PC会員は一口まで無料、非会員：有料 申込不要、当日直接参加可、問合先 : MEMSパークコンソーシアム事務局 TEL： FAX： 、
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【8月9日(火)】 10:00-12:00 (2h) マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチング) [江刺] 13:00-15:20 (2.3h) マイクロマシニング２ (堆積、接合､複合ﾌﾟﾛｾｽ､パッケージング他) [江刺] 15:30-17:20 (1.8h) 自動車・家電関連 (圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺] 17:30-20:00 MEMSPCカフェ(交流会) (17:30-18:00 (0.5h) 試作コインランドリ [戸津]) (18:00-18:30 (0.5h) 講演「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」 [木股] (18:30-20:00 (1.5h) 交流会) 【8月10日(水)】 9:30-10:30 (1h) 接合実装 [高木] 10:30-11:30 (1h) 圧電MEMSデバイス [小林] 11:30-12:30 (1h) マイクロエネルギ源 [田中] 13:30-15:20 (1.7h) RF関連MEMS (MEMSスイッチ、RFフィルタ) [田中、鈴木] 15:30-17:00 (1.5h) 光関連MEMS (ディスプレイ､光スイッチ､赤外線他イメージャ)[木股] 17:00-18:00 (1h) 産総研UMEMSME(集積ﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑ研究ｾﾝﾀｰ)とMEMSの課題 [前田] 【8月11日(木)】 9:30-11:00 (1.5h) 医療 (カテーテル 他) [芳賀] 11:10-12:30 (1.3h) バイオ関連 [西澤] 13:30-15:00 (1.5h) ナノマシニングとナノ構造体 [小野] 15:10-16:10 (1h) マイクロアクチュエータ [江刺] 16:10-18:00 (1.8h) 製造検査関連 (電子線制御、分析、微量流体制他) [江刺]
![【8月9日(火)】 10:00-12:00 (2h) マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチング) [江刺] 13:00-15:20 (2.3h) マイクロマシニング２ (堆積、接合､複合ﾌﾟﾛｾｽ､パッケージング他) [江刺]](http://slidesplayer.net/slide/14286065/89/images/2/%E3%80%908%E6%9C%889%E6%97%A5%28%E7%81%AB%29%E3%80%91+10%3A00-12%3A00+%282h%29+%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%EF%BC%91+%28%E6%A6%82%E8%AB%96%E3%80%81%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%95%E3%82%A1%E3%83%96%E3%83%AA%E3%82%B1%E3%83%BC%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3%E3%80%81%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%5B%E6%B1%9F%E5%88%BA%5D+13%3A00-15%3A20+%282.3h%29+%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%EF%BC%92+%28%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%80%81%E6%8E%A5%E5%90%88%EF%BD%A4%E8%A4%87%E5%90%88%EF%BE%8C%EF%BE%9F%EF%BE%9B%EF%BD%BE%EF%BD%BD%EF%BD%A4%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%B1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%83%B3%E3%82%B0%E4%BB%96%29+%5B%E6%B1%9F%E5%88%BA%5D.jpg "15:30-17:20 (1.8h) 自動車・家電関連 (圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺] 17:30-20:00 MEMSPCカフェ(交流会) (17:30-18:00 (0.5h) 試作コインランドリ [戸津]) (18:00-18:30 (0.5h) 講演「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」 [木股] (18:30-20:00 (1.5h) 交流会) 【8月10日(水)】 9:30-10:30 (1h) 接合実装 [高木] 10:30-11:30 (1h) 圧電MEMSデバイス [小林] 11:30-12:30 (1h) マイクロエネルギ源 [田中] 13:30-15:20 (1.7h) RF関連MEMS (MEMSスイッチ、RFフィルタ) [田中、鈴木] 15:30-17:00 (1.5h) 光関連MEMS (ディスプレイ､光スイッチ､赤外線他イメージャ)[木股] 17:00-18:00 (1h) 産総研UMEMSME(集積ﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑ研究ｾﾝﾀｰ)とMEMSの課題 [前田] 【8月11日(木)】 9:30-11:00 (1.5h) 医療 (カテーテル 他) [芳賀] 11:10-12:30 (1.3h) バイオ関連 [西澤] 13:30-15:00 (1.5h) ナノマシニングとナノ構造体 [小野] 15:10-16:10 (1h) マイクロアクチュエータ [江刺] 16:10-18:00 (1.8h) 製造検査関連 (電子線制御、分析、微量流体制他) [江刺]")
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