電磁波アンジュレータの開発 Phase-I 長軸安定共振器による高収率レーザーコンプトンγ線の発生。

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1 電磁波アンジュレータの開発 Phase-I 長軸安定共振器による高収率レーザーコンプトンγ線の発生。
γ線ＣＴ Phase-II 干渉性を利用した、高輝度Ｘ線アンジュレータ光の発生。 安価なＸ線マイクロビームの発生。 Phase-III テーブルトップＸ線源の開発。 半導体リソグラフィ

2 想定される産業利用 高エネルギーγ線ＣＴ 小型で安価なＸ線源 高輝度・小型リソグラフィ用Ｘ線源 重量物の非破壊検査等
エネルギー可変Ｘ線マイクロビーム マイクロビームＣＴ 微細加工 タンパク質、創薬、バイオ 高輝度・小型リソグラフィ用Ｘ線源

3 産総研で開発 したγ線ＣＴ技術 産総研で開発したγ線ＣＴ技術

4 プレス発表データ 2月26日 日本工業新聞 2面 日刊工業新聞 6面 日経産業新聞 12面
日本工業新聞 2面 CT技術、世界初の実用化　レーザーコンプトンγ線使う 産総研　原子炉部品内部など　３次元撮影可能に 日刊工業新聞 6面 航空機などの大型工業製品　非破壊で３次元撮影 産総研　ガンマ線利用CT技術 日経産業新聞 12面 ガンマ線使うCT　産総研、非破壊検査に威力

5 必要なγ線源 強度が106 photons/sec程度のγ線ビーム エネルギー可変： 数100keV～数10MeV
高指向性(発散角が放射光程度～数mrad) 数%程度以下のエネルギー広がり

6 Phase-I、および、Phase-II
γ線、Ｘ線発生装置 電子蓄積リング 高輝度Ｘ・γ線 (干渉性) 電子 利用 超高真空封じきり共振器 γ線ＣＴへの利用 Ｘ線マイクロビームへの利用 遠赤外レーザー

7 Phase-III Ｘ線アンジュレータ光の発生 テーブルトップＸ線源の開発 半導体リソグラフィ 電子 ファブリ－ペロー共振器 レーザー
小型電子加速器 （１ｍ程度) レーザー 電子冷却装置 Ｘ線アンジュレータ光の発生 テーブルトップＸ線源の開発 半導体リソグラフィ

8 テーブルトップＸ線源の性能 『例として』 532nmの波長のレーザー 2keVのＸ線
8MeVの電子 532nmの波長のレーザー 電子エネルギーを変えることで、数100eV～10keV（数100μm～0.1nm）において、エネルギー可変の単色Ｘ線が得られる。 高指向性を有するため、リソグラフィーに最適。 デブリ、中性子の発生が全くない『クリーン』な線源 2keVのＸ線

9 産業創生の可能性 重量物工業製品の精密非破壊検査事業 創薬、バイオ等の起業 半導体リソグラフィの請負
鉄筋コンクリート、船舶、航空機、原子炉、ガラス固化体（放射性廃棄物)などの検査 創薬、バイオ等の起業 コストパフォーマンスのよいＸ線マイクロビーム 半導体リソグラフィの請負 波長可変性、高指向性を有するＸ線源