名古屋工業大学 大学院工学研究科 准教授 加藤 正史 SiC基板のパワーデバイス への応用 名古屋工業大学 大学院工学研究科　准教授 加藤　正史 http://araiweb.elcom.nitech.ac.jp/

SiCの物性 バンドギャップ 3.26 eV (4H) 間接遷移 絶縁破壊電界 2 MV cm-1 電子移動度　720 cm2 V-1 s-1 熱伝導率　　　4.5 W cm-1 K-1 Siは？ バンドギャップ　1.1 eV　間接遷移 絶縁破壊電界　0.3 MV cm-1 電子移動度　1350 cm2 V-1 s-1 熱伝導率　　　1.5 W cm-1 K-1 SiCはSiよりパワーデバイス材料として優れている 値はH. Okumura, JJAP 45, 2006, pp. 7565–7586より

物性値より得られるオン抵抗と耐圧 ユニポーラデバイスの理論限界を示した図 理論上はGaN>SiC>Siとなる

パワーデバイスの耐圧構造 電界 SiCではドリフト層を高いドーピング濃度で、薄く形成可能 低い抵抗率の層・短い経路 低オン抵抗 Si SiC p+ n+ Si p+ n+ SiC 電界 絶縁破壊電界まで 高めることができる ドリフト層内の位置 SiCではドリフト層を高いドーピング濃度で、薄く形成可能 低い抵抗率の層・短い経路 低オン抵抗

パワーデバイス応用範囲 市場大 SiCは大電力、比較的高い周波数で動作

パワーデバイスへの要求性能 ・低いオン抵抗 ・高い耐圧 ・高い電流容量 ・高い耐熱性・放熱性 ・高いスイッチング速度 ・高い信頼性 ほとんどの要求性能は基板・エピと関連 高い品質の結晶が求められる

SiCデバイスの現状 ・耐圧600-12000V ・電流容量 5-30A程度 ・耐熱温度 ～250℃ ・周波数 ＞10kHz ・コスト 計算上は50kVクラスまで可能 低耐圧：ユニポーラ　高耐圧：バイポーラ ・電流容量　5-30A程度 ウェハーの欠陥、プロセス成熟度により制限 ・耐熱温度　～250℃ デバイスは高温に耐える ・周波数　＞10kHz スイッチングは速い　受動素子のサイズ縮小可 ・コスト Siに比べると未だ高価

市場の大きい耐圧領域 耐圧600-1200V 商用電源電圧 AC100V・200V に適したデバイス Siではバイポーラデバイス PiND、IGBT SiCではユニポーラデバイス SBD、MOSFET　（バイポーラのBJTも期待）

SiCユニポーラデバイス ・SBD (Schottky Barrier Diode) より高性能なJBS・MPS構造 類似デバイスとしてHJD ・MESFET (MEtal Semiconductor FET) 高周波デバイス ・JFET (Junction FET) SIT (Static Induction Transistor)とも呼ばれる ・MOSFET (Metal Oxide Semiconductor FET) DMOS・UMOS等の種類 市場の大きい耐圧領域に適している

SiC SBD 最も単純な構造のデバイス：整流素子として期待 構造は基板・エピ・電極 Schottky 電極 n-エピ　ドリフト層 構造は基板・エピ・電極 n+基板 Ohmic 電極 耐圧・オン抵抗はn-層の厚さ、ドーピング濃度、電極の選択により調整 ただし、性能向上には細工が必要

SBDの細工 パンチスルー パンチスルーの最適設計が低オン抵抗・高耐圧 ドリフト層厚とドーピング濃度を最適化 電界 電界 ノンパンチスルー型 より薄いドリフト層 空乏層@BVがFSに到達 厚いドリフト層 n-エピ n+ 基板 n-エピ n+エピ FS n+ 基板 電極 電極 電界 電界 ノンパンチスルー型 パンチスルー型 パンチスルーの最適設計が低オン抵抗・高耐圧 ドリフト層厚とドーピング濃度を最適化

SBDの細工 JTE MPS p型領域をイオン注入により形成 MPS: Merged PN Schottky p型領域 Schottky 電極 JTE: Junction Termination extension n-エピ n+基板 Ohmic 電極 p型領域をイオン注入により形成 JTE(Junction Termination Extension) により最大電界を緩和 局所的pn構造によりサージ時の抵抗低減 MPS(Marged PiN Schottky)構造

SBDの細工 SuperSBD ダイオード内部のｐ領域により電界を緩和 オン抵抗を半減可能 プロセスコストとのトレードオフ p型領域 電界 Schottky 電極 n-エピ n+基板 SuperSBD SBD Ohmic 電極 ダイオード内部のｐ領域により電界を緩和 オン抵抗を半減可能　プロセスコストとのトレードオフ

SiC Si HJD HJD(Hetero Junction Diode) ポリシリコンでショットキー電極を代替 p型ポリシリコン n-エピ　ドリフト層 n+基板 p型ポリシリコンからの正孔注入によりサージ時の抵抗低減 Ohmic 電極

SBDの性能大きく劣化させる欠陥１ マイクロパイプ エピ表面欠陥 積層欠陥 エピで閉塞してもダメ 　　　　　　　　　　　　　n-エピ Schottky 電極 n+基板 マイクロパイプ 欠陥が引き継がれる マイクロパイプ エピで閉塞してもダメ “Silicon Carbide” Vol.2 Chap.4, M. Holz et al. Wiley-Vch (2010) エピ表面欠陥 凹凸と結晶欠陥により性能劣化 積層欠陥 3C構造などの混入により劣化 M. Kato et al. Jpn. J. Appl. Phys. 50, #036603 （2011）

SBDの性能を劣化させる結晶欠陥２ 転位 不純物 欠陥抑制法の一提案 リーク電流の起源となる 螺旋転位の方が影響が大きい？ 原因は転位が形成する表面の窪みか？ Katsuno et al. APPL. PHYS. LETT. 98, 222111 (2011) 不純物 キャリアの散乱に寄与する場合 通常のエピなら大きな影響はない 欠陥抑制法の一提案 Masaya Kimura, Masashi Kato et al. Mater. Sci. Forum Vols. 679-680 (2011) pp.461-464

SBDの現状 600V-1700V 30A程度の素子が市販 Si IGBTと共にインバータとして利用 Si FRD(Fast Recovery Diode)の代替、高周 波動作および高温利用に利点

SiC MESFET 高周波用デバイス ショットキーゲートによりオンオフ（ノーマリーオン） 低ドープ・高移動度により高周波特性を向上 Schottky 電極 Ohmic Ohmic n+ チャネル/空乏層 n+ ショットキーゲートによりオンオフ（ノーマリーオン） n- Semi-Insulating SiC 低ドープ・高移動度により高周波特性を向上 SiC MESFET 半絶縁性基板により寄生容量損失を低減

SiC JFET(SIT) pn接合の空乏層を利用して スイッチング オン抵抗としきい値電圧の設計が重要 ゲート ソース ゲート Ohmic Ohmic Ohmic pn接合の空乏層を利用して スイッチング ノーマリーオンになり易い n+ p p チャネル n-　ドリフト n+ Ohmic ドレイン オン抵抗としきい値電圧の設計が重要 通常時　オン状態 Ohmic Ohmic Ohmic n+ p p n- 絶縁膜がないため、デバイス拡大が比較的容易 n+ Ohmic VG＜0V印加時 チャネルがピンチオフ

埋め込みゲートJFET (BGSIT) ｐ領域を増やすことでピンチオフ を容易に やはりオン抵抗としきい値の調整が重要 プロセスコストも問題 ソース ゲート ｐ領域を増やすことでピンチオフ を容易に ノーマリーオフにし易い Ohmic n+ Ohmic Ohmic p p チャネル n-　ドリフト n+ Ohmic やはりオン抵抗としきい値の調整が重要 ドレイン プロセスコストも問題

JFETの現状 周辺回路の設計が必要 SiC JFET,SBDによる高密度インバータが実証 ゲートに電流を流さない駆動回路 ノーマリーオンの場合は保護回路が必要 Si MOSFETとのカスコード接続をするケースも SiC JFET,SBDによる高密度インバータが実証 MOSFETよりも先行している

SiC MOSFET(DMOS) SiC/酸化膜界面のチャネルを制御しスイッチング 基本的にはノーマリーオフ 　基本的にはノーマリーオフ n+ p Ohmic ゲート ドレイン 横型MOS ソース チャネル 横型より縦型MOSの方が高電流密度 n+ p n- 酸化膜 Ohmic ゲート電極 ソース ドレイン 縦型MOS チャネル MOS界面の問題が存在

Resurf構造 オフ時の電界はゲートのドレ イン端側で最大 ソース ゲート ドレイン オフ時の電界はゲートのドレ イン端側で最大 降伏が局所的に起こる Ohmic Ohmic n- n+ チャネル n+ p n+ 電界 通常の横型MOS resurf横型MOS ドリフト層にpn構造を形成し電 界を緩和　(Reduced SURface Field) Super SBDと同様の発想

トレンチMOS(UMOS) 電流密度を高めるためチャネルを縦に 近い将来のスイッチングデバイスとして期待 トレンチ・酸化膜の形成方法に課題 ソース 電流密度を高めるためチャネルを縦に Ohmic ゲート n+ n+ p p n- チャネル 近い将来のスイッチングデバイスとして期待 n+ Ohmic ドレイン トレンチ・酸化膜の形成方法に課題

MOSFETの現状 ノーマリーオフ・ゲート絶縁により駆動は容易 オン抵抗低減には界面の品質（高いチャネル移 動度）が重要 各社が本命視しているデバイス オン抵抗低減には界面の品質（高いチャネル移 動度）が重要 10年以上に渡りMOS界面が議論 界面を避けチャネルを埋め込むアプローチも 酸化膜の信頼性も長く議論 エピに転位があると熱酸化膜の信頼性は低い J. Senzaki et al., Jpn. J. Appl. Phys. 48 (2009) 081404.

MOSFETの性能を劣化させる欠陥 転位は酸化膜信頼性を低下 転位のチャネル移動度への影響は不明確 界面の凹凸がチャネル移動度を低下？ ただし、堆積膜の方がチャネル移動度が高い 界面の凹凸がチャネル移動度を低下？ 界面のグラファイト層が原因という説も a面、C面の酸化膜はチャネル移動度が高い Si面の酸化膜界面にはキャリア散乱欠陥が形成 C面基板・エピが高品質であれば解決？

ユニポーラデバイスのまとめ SBD、MOSFETが期待大 キャリアは電子、緊急時のみ正孔利用 ドリフト層の厚み・ドーピング濃度の設計が基本 JFETはつなぎ？ キャリアは電子、緊急時のみ正孔利用 SiC SBDとMOSFETのインバータなら高周波動作 ドリフト層の厚み・ドーピング濃度の設計が基本 揺らぎのないエピが必要 MOSFETでは界面・酸化膜が重要 ブレイクスルーが待たれる

SiC バイポーラデバイス 市場は狭いもののSiへの代替効果は大きい ・PiND (P-i-N Diode) 大電力用整流素子　系統電力用 ・BJT (Bipolar Junction Transistor) 電流駆動スイッチ ・IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) 高耐圧スイッチ ・GTO (Gate Turn Off Thyristor) 超高耐圧スイッチ系統電力用 市場は狭いもののSiへの代替効果は大きい

SiC PiND p+、n+領域からの少数キャリア注入を利用したダイオード 高い耐圧で低いオン抵抗 耐圧はエピ層厚、濃度で決まる Ohmic 電極 p+エピ p p 正孔 電子 n-エピ　 高い耐圧で低いオン抵抗 立ち上がり順電圧は高い n+基板 Ohmic 電極 電圧 電流 PiND 耐圧はエピ層厚、濃度で決まる SBD オン抵抗にはキャリアライフタイムも影響 順方向特性のイメージ

少数キャリア注入 n-領域のキャリア密度が上昇 抵抗低減 少数キャリア蓄積効果によりスイッチング時に逆電流 電子濃度 正孔濃度 n+ n- p+ オン状態のキャリア分布 n-領域のキャリア密度が上昇　抵抗低減 少数キャリア蓄積効果によりスイッチング時に逆電流 電子正孔対のキャリアライフタイム 制御が重要 長いと低抵抗、スイッチング電流大 短いとキャリアがエピに拡散しない 時間 電流 ターンオフ 逆電流

SiC BJT 打ち込みエミッタ構造 電流駆動のスイッチ 酸化膜がない利点 ベースからの正孔注入が重要 ゲインが少ない場合、大電流 制御が必要 Ohmic 電極 n+ p+ 正孔 p 電子 n-エピ n+基板 Ohmic 電極 コレクタ 酸化膜がない利点 　　高温で安定動作 　　チャネル移動度無関係

SiC BJT エピエミッタ構造 打ち込み欠陥はキャリアライフタイム・ゲインを下げる エピでエミッタ作製 エッチングが必要 n+基板 Ohmic 電極 n+ p+ 電子 n-エピ 正孔 エミッタ ベース コレクタ 連続エピ 打ち込み欠陥はキャリアライフタイム・ゲインを下げる エピでエミッタ作製 エッチングが必要 エッチング面の表面再結合が課題

SiC IGBT MOSFETとpinダイオードの組み合わせ 伝導度変調によりオン抵抗低減 ただしpn接合で電圧降下 酸化膜 ゲート電極 エミッタ MOSFETとpinダイオードの組み合わせ Ohmic Ohmic n+ チャネル n+ n- p p 正孔 n+ 伝導度変調によりオン抵抗低減 ただしpn接合で電圧降下 電子 p+ Ohmic コレクタ ｎチャネル　IGBT pチャネルでも作製可能

SiC GTO 大電力用電流制御スイッチ 酸化膜なし、大面積化可能 伝導度変調により低いオン抵抗 BJTを二つ組み合わせたpnpn構造 アノード 大電力用電流制御スイッチ 　　BJTを二つ組み合わせたpnpn構造 ベース Ohmic 電極 p+ 正孔 n+ 電子 酸化膜なし、大面積化可能 ウェハー全面を使うことも可能 pエピ n+基板 Ohmic 電極 伝導度変調により低いオン抵抗 pn接合により電圧降下 遅いスイッチング カソード

バイポーラSiCデバイスまとめ 電子・正孔注入 低抵抗だが高いオン電圧 課題 キャリアライフタイムが性能に影響 低点欠陥（n型ではZ1/2センター）濃度のエピが要求 　※講演者（加藤）の専門領域 低抵抗だが高いオン電圧 大電圧デバイス　BJT以外は電力系統用 課題 電流注入による積層欠陥の拡張・オン抵抗増大 表面再結合による効率低下 高コストな厚いドリフト層

課題 導通損失 デバイス内部の抵抗成分に 起因、縦型MOSを例に大別 現状チャネル抵抗が支配的 ・コンタクト抵抗 ・チャネル抵抗 課題　導通損失 コンタクト デバイス内部の抵抗成分に 起因、縦型MOSを例に大別 ・コンタクト抵抗 ・チャネル抵抗 ・JFET領域抵抗 ・ドリフト層抵抗 ・基板抵抗 チャネル JFET領域 ドリフト層 基板 現状チャネル抵抗が支配的 将来的には基板抵抗・コンタ クト抵抗が課題に 基板研磨が必要

課題 スイッチング損失 スイッチング時の電流が損失 現状のSiCデバイスでは大きな問題ではない ユニポーラデバイスではほぼ 無視できる 課題　スイッチング損失 スイッチング時の電流が損失 時間 電流 ターンオフ 逆電流 ユニポーラデバイスではほぼ 無視できる 高周波化可能 バイポーラデバイスでもSiと比較 すると少ない 短いキャリアライフタイム、小さい真 性キャリア濃度 ただし今後キャリアライフタイムが長 くなると問題に 現状のSiCデバイスでは大きな問題ではない

課題 プロセスの困難さ 不純物拡散不可能 高温プロセス 研磨が困難 両面研磨ウェハーのハンドリングが困難 課題　プロセスの困難さ 不純物拡散不可能 高温プロセス 高温イオン注入　アニール1600℃ 酸化膜形成1000～1200℃ オーミック形成1000℃ 研磨が困難 時間がかかる、反りやすい 基板抵抗低減が困難 両面研磨ウェハーのハンドリングが困難 解決にはSiC専用装置および技術開発が必要

課題 大容量化 現状の最大定格電流（30A程度）では不十分 素子の大面積化が必要 電圧は周辺の絶縁との関係で上げづらい 課題　大容量化 現状の最大定格電流（30A程度）では不十分 電圧は周辺の絶縁との関係で上げづらい 用途によって100A以上のデバイスが必要 素子の大面積化が必要 欠陥の面密度が多いと歩留まり低減　 　低欠陥基板が必須 プロセス技術の向上も必須

課題 信頼性 SiCは高温動作が特徴 問題となりやすい部分 やはり基板の欠陥低減が重要 高温は信頼性に悪影響 課題　信頼性 SiCは高温動作が特徴 高温は信頼性に悪影響 特に自動車分野では信頼性が絶対影響 問題となりやすい部分 酸化膜劣化（しきい値揺らぎ・リーク増大） 接合劣化（リーク増大） オン抵抗の増加（積層欠陥の拡張） やはり基板の欠陥低減が重要

課題 コスト 基板コストは大きな問題 プロセスコストは量産により吸収可能？ ６インチ基板によりSiプロセス装置の流用可 課題　コスト 基板コストは大きな問題 ６インチ基板によりSiプロセス装置の流用可 口径拡大は単位面積当たりの価格も低減 欠陥低減により歩留まり向上 プロセスコストは量産により吸収可能？ ただしチップダイシング、研磨は口径拡大でコスト増

課題 周辺技術 デバイスの熱を逃がし、割れないコンタクト、配線 熱を逃がす絶縁材料 電磁界が発生しないデバイス構造、周辺回路 課題　周辺技術 デバイスの熱を逃がし、割れないコンタクト、配線 熱を逃がす絶縁材料 電磁界が発生しないデバイス構造、周辺回路 自動車応用では特に重要 高温に耐えられる周辺回路

基板に対する要求 ・大口径 ６インチが目安 ・高い表面平坦性 ・少ない反り ・マイクロパイプフリー、低転位 ・低抵抗 エピレディ表面 ・大口径　６インチが目安 ・高い表面平坦性 エピレディ表面 ・少ない反り 両面研磨が有効、ただしプロセス後に反ってはダメ ・マイクロパイプフリー、低転位 ・低抵抗 ドープ濃度・基底面内転位密度はトレードオフ

エピに対する要求 ・基底面内転位フリー ・表面欠陥フリー ・高い表面平坦性 ・ドーピング濃度・膜厚均一性 エピにより改善可能 表面欠陥はデバイスにとって致命的 ・高い表面平坦性 厚膜の場合ステップバンチングが問題 ・ドーピング濃度・膜厚均一性 デバイス性能に直結

SiC業界のビジネス 半導体業界は初期投資が巨額 基板・デバイス技術は向上段階：特化技術なら ば後発ビジネスでも成り立つ 先行基板・デバイスサプライヤは巨額の投資 ただし高温装置は維持費も高額　低温技術に期待 今後の需要に応えられるか？ 基板・デバイス技術は向上段階：特化技術なら ば後発ビジネスでも成り立つ

GaNデバイス vs SiCデバイス GaN基板は供給能力に疑問 GaN/Si構造がコスト面で有利 SiCは高耐圧、高温環境デバイスで有利 縦型化、厚膜化、局所ドーピング困難 素子分離を利用した低耐圧高集積モジュールへ SiCは高耐圧、高温環境デバイスで有利 GaNとの住み分け とはいえ当面のライバルはSiデバイス まずはSiに対しての優位性を出す必要

将来のSiCデバイス？ ユニポーラデバイス バイポーラデバイス さらなる高性能デバイスに期待 Super Junctionにより理 論限界を超える エッチング/エピorイン プラ/エピ技術 バイポーラデバイス 伝導度変調領域へのバル ク基板利用 長キャリアライフタイム 基板でエピコスト削減 更なる低オン抵抗領域 さらなる高性能デバイスに期待