＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ カソード周り検討メモ2 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 2009/07/06・LバンドRF銃の会議 杉山 陽栄
真空チェンバーとロードロックのストローク 前回案のままだとロードロックのストロークが長過ぎる 量子効率測定をレーザーでやるのを強行にイヤがる人が多いので光導入のななめポート付き 320 ロードロック ATFと同様のもの ゲートバルブ ＋ ベローフランジ ソケット位置 〜 200 イオンポンプが 置けないから 架台を下げてもらう これだと、ロードロックのストロークは520くらい （設計し直し前：900）
真空チェンバーのポートの使い道 設計とは関係ない 計測機器は注文中 70直導器１：膜厚計 70直導器２：蒸着源（設計中） 70直導器３：バイアス電極（設計中） ヘッドレスト ポートを持つか思案中 ロードロック 114ビューポート ヒューマンエラーを減らすため あえて、大窓 ヒーター 導入ポートがついている面 全部同じ面、大ビューポート必須 放射温度計用ビューポート サファイアガラス（近赤外） 今の所 出番なしポート 銃へ 光導入ななめ45度ポート 合成石英（近紫外） ランプの光学台は置けないからLED イオンポンプ ターボと 真空計 設計とは関係ない 計測機器は注文中 イオンポンプ ロードロックも引くため大容量 落下物回収ポート
真空チェンバーの工夫で、ロードッロックのストロークを縮めた（900 → 520） まとめ 真空チェンバーの工夫で、ロードッロックのストロークを縮めた（900 → 520） 真空チェンバーの形状が決まらないと、他の部品の設計が決まらない カソードプラグの見積もり チャンバー長さが決まらないので、だいたいの価格ということで、見積もりを取りました。 モリブデン製カソードプラグ＋セラミック製絶縁部品＋SUS316製つなぎ部品とシャフト＋インコネル製RFコンタクト＋製作図面＝約80万円 インコネル製バネ部品は、作業工程が多く、大変高い その他は常識的な価格