高角度分解能を目指した 多重薄板型X線望遠鏡の開発と その性能評価

Slides:



Advertisements
Similar presentations
模型を用いたジェットコターの 力学的原理の検討 06522 住友美香 06534 秦野夏希. 平成22年度 卒業研究発表 山田研究室 研究目的 ジェットコースターのコースは、どのような計算に 基づいて作られているのか、研究を通じて理解し、 計算を用いた模型製作を行う。
Advertisements

宇宙線ミューオンの測定 久野研究室 4回生 卒業研究 荒木 慎也 宮本 紀之 室井 章. 目次 実験内容 測定方法・結果 ・検出装置とセットアップ 解析 ・バックグラウンド除去 ・検出効率 ・立体角 ・文献 値との比較 まとめ.
観測手法と望遠鏡の 仕様について 矢野太平(理研) ●大角度はなれた同時サーベイについて ●サーベイ方法について ●観測精度について
CsIシンチレータと マルチアノードPMTを用いた 硬X線撮像装置の性能測定
点対応の外れ値除去の最適化によるカメラの動的校正手法の精度向上
近似アルゴリズム 第10章 終了時刻最小化スケジューリング
次世代超大型望遠鏡の 広視野補償光学系の光学設計
単色X線発生装置の製作 ~X線検出器の試験を目標にして~
高角度分解能化を目指した 多重薄板型X線望遠鏡の設計と その性能評価
南極からの新赤外線天文学の創成 南極内陸は、ブリザードがなく、非常に穏やかな、地球上で最も星空の美しい場所です。この場所で私たちは新しい赤外線天文学を展開します 宇宙初期の広域銀河地図を作って、私たちの銀河系の生い立ちを解明します 137億年前 100億年前 宇宙の果て 最初の星が生まれ、銀河が成長した時代.
(質問)  体軸分解能を評価するための「SSPの測定」
分光結晶を用いた蛍光XAFSシステムの開発
3.8 m望遠鏡主鏡エッジセンサ 開発進捗 京都大学 理学研究科 M2 河端 洋人.
京大岡山3.8 m望遠鏡計画: 分割主鏡制御エッジセンサの開発
角度分解能の向上を目指した 多重薄板型X線望遠鏡の開発
ティコ第2星表を用いた限界等級の測定 目的 内容 宇宙粒子研究室 竹川涼太
前回の内容 結晶工学特論 第5回目 Braggの式とLaue関数 実格子と逆格子 回折(結晶による波の散乱) Ewald球
ピーニング処理を用いた X線反射鏡の製作 X線望遠鏡用反射鏡の 表面形状向上の研究
みさと8m電波望遠鏡の 性能評価 富田ゼミ 宮﨑 恵.
目次 多重薄板型X線望遠鏡 レプリカ法とは 反射鏡の評価 現状と課題
Astro-E2衛星搭載 XISの データ処理方法の最適化
低周波重力波探査のための ねじれ振り子型重力波検出器
信号電荷の広がりとデータ処理パラメータの最適化
X線CTにおけるファントム中の エネルギー変化についての検討
トリガー用プラスチックシンチレータ、観測用シンチレータ、光学系、IITとCCDカメラからなる装置である。(図1) プラスチックシンチレータ
坂本彰弘(岡山天体物理観測所) 栗田光樹夫(京都大学)
位相カメラの進捗状況 京都大学修士1回 横山 洋海.
AIRT40+TONIC2 for JARE53/54 Winter-over Observation 新光学系の提案(最終案)
高出力Nier型イオン源の開発 環境計測学研究室 清水森人 高出力Nier型イオン源開発の報告を始めます。
GeneratorのX線スペクトル解析 私は、generatorのX線スペクトルを測定し、解析をしました。 宇宙物理実験研究室 星 理沙.
ガンマ線バースト観測用 面分光装置の紹介 岡山天体物理観測所 尾崎忍夫 共同研究者 吉田、岩田、神戸、沖田(岡山天体物理観測所)、
高エネルギー陽子ビームのための高時間分解能 チェレンコフビームカウンターの開発
非対称リンクにおける ジャンボフレームの性能評価
宇宙線ミューオンによる チェレンコフ輻射の検出
小型JASMINE計画の状況       矢野太平(国立天文台)       丹羽佳人(京大).
栗田光樹夫 第29回望遠鏡技術検討会 於ナガセインテグレックス
(株)ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 11/14 技術検討会@岡山
X線望遠鏡用反射鏡製作のための スパッタマスクの開発
1.光・音・力.
CCDカメラST-9Eの      測光精密評価  和歌山大学 教育学部           自然環境教育課程 地球環境プログラム 天文学専攻 07543031   山口卓也  
X線CCD検出器 ーCCD‐CREST(deep2)ー の性能評価と性能向上 (京阪修論発表会)
京大他、東大やアデレード大学など日豪の16機関が共同で、オーストラリアの砂漠地帯に望遠鏡4台を建設しTeVγ線を観測している。
宇宙線研究室 X線グループ 今こそ、宇宙線研究室へ! NeXT
X線CCD新イベント抽出法の 「すざく」データへの適用
X線CCD新イベント抽出法の 「すざく」データへの適用
「すざく」搭載XISのバックグラウンド ――シミュレーションによる起源の解明
全天X線監視装置(MAXI)搭載ガススリットカメラ用コリメータの特性測定
JASMINEワークショップ March 6-7,2003 松原英雄(宇宙研)
Geant4による細分化電磁 カロリメータのシミュレーション
Winston cone を用いた チェレンコフカウンター
MOAデータベースを使った セファイド変光星の周期光度関係と 距離測定
大阪工業大学 情報科学部 情報システム学科 学生番号 B02-014 伊藤 誠
pixel 読み出し型 μ-PIC による X線偏光検出器の開発
Telescope Array ~Searching for the origin of the highest energy cosmic ray 私たちの研究の目的 宇宙線って何? 最高エネルギー宇宙線の数が、 理論による予想を大きく上回っていた! 現代物理学の主要な謎の1つ 宇宙空間を光に近い速度で飛び回っている非常に小さな粒子のことです。
AIRT40+TONIC2 for JARE53/54 Winter-over Observation 新光学系 備忘録
ガスセンサーの製作 [応用物理研究室] [藤井新太郎]
TOBAの現状と今後の計画 坪野研輪講 2012年2月22日 岡田健志.
CHANDRA衛星の観測結果による、 球状星団M4(NGC6121)のスペクトル解析
ASTE搭載用ミリ波サブミリ波帯 多色ボロメータカメラ光学系の開発 竹腰達哉 北海道大学修士課程2年 Collaborators:
高地におけるγ線エアシャワー地上観測のシミュレーション
ASTRO-E2搭載CCDカメラ(XIS)校正システムの改良及び性能評価
TES型カロリメータのX線照射実験 宇宙物理実験研究室 新井 秀実.
自動車ホイールのディスク成形に おける肉厚分布を持つ円環の加工 加工能率低下 図 ディスク成形 塑性加工研究室 中川原 大助 スピニング
X線望遠鏡用反射鏡の 表面形状向上の研究 宇宙物理実験研究室 大熊 隼人.
高計数率ビームテストにおける ビーム構造の解析
PRISM-FFAG電磁石の開発 大阪大学 久野研究室 中丘末広.
荷電粒子の物質中でのエネルギー損失と飛程
ネットワークを介した 計測制御システムの開発
シンチレーションファイバーを 用いた宇宙線の観測
60Co線源を用いたγ線分光 ―角相関と偏光の測定―
Presentation transcript:

高角度分解能を目指した 多重薄板型X線望遠鏡の開発と その性能評価 宇宙物理実験研究室 窪田 廉

目次 多重薄板型X線望遠鏡について(すざく望遠鏡) 望遠鏡の結像性能と決定要因 アライメントプレートとその調整 X線による望遠鏡の性能評価 結像性能決定要因の分離 まとめ 発表はこのような、流れで行います。多重薄板型望遠鏡について、結像性能とその決定要因、アライメントプレートとその調整、X線による試作望遠鏡の性能評価、まとめとなります。

X線望遠鏡(XRT)・・・天体からのX線を集光・結像させる 反射鏡 入射角θ<1° X線の物質に対する屈折率は 1よりわずかに小 回転放物面 回転双曲面 Wolter I型斜入射光学系 検出器 見込む面積が小さいので集光できる光子が少ない 「多重薄板型」X線望遠鏡 X線望遠鏡について説明します。X線はほとんどの物質で屈折率が1よりわずかに小さいために、入射角1°以下の非常に薄い角度でしか全反射させることができません。 そのため、X線望遠鏡には回転放物面と回転双曲面を組み合わせたWolterI型斜入射光学系が持ちいられます。しかし、非常に入射角が小さいため、多くのX線を集光させることができません。そこで、反射鏡を多重に積層した多重薄板型X線望遠鏡を採用しています。 検出器 ‥‥非常に薄い反射鏡を多数同心円状に並べたもの

多重薄板型X線望遠鏡の構造 すざく衛星搭載X線望遠鏡 40cm 反射鏡 厚さ180μm 100mm 鏡面 : 金 Quadrant ハウジング こちらの写真は2005年7月に打ち上げられたX線天文衛星すざく搭載の望遠鏡で、口径が40cm、重量が20kgで有効面積は420cm2となります。この性能を世界の他のX線望遠鏡と比べてみると、小型で軽量であるのに大有効面積を実現しているのが特徴です。一方結像性能は1.8分角となり、他の望遠鏡に比べそれほど優れてはいません。 望遠級の構造はQuadorantと呼ばれる1/4の扇形のハウジングにより構成され、このQuadrantに175枚の反射鏡が同心円上に積層されています。 反射鏡は厚さが180μmで基板にアルミニウム、鏡面に金をしようしており、制作の容易さから2次曲面を円錐面で近似したものになっています。 反射鏡175枚 2次曲面を円錐面で近似

すざくのイメージ 半径Rの円内に入る全光量 焦点面でのイメージ 検出器Z[分角] 半径R 光量 全体を1となるように規格化 -2 -4 2 4 半径R 検出器Z[分角] 1.8分角 HPD (Half Power Diameter) :全光量の半分が含まれる 円の直径 こちらは、地上校生試験で得られたすざくの望遠鏡の実際のイメージです。像の一部がかけているのは、反射鏡の部分にあたる各Quadrantの端に部分が、解放端となっているため、結像性能がきわめて悪いため、カバーをして集光しないようにしているため、像がかけています。 右の図は望遠鏡の結像位置から半径Rを取り、その中に入る光量をプロットした図です。全光量を1に規格化しその半分が入る円の直径をHPDとよび、結像性能を評価するのに用います。 すざくの場合、このHPDは1.8分角になります。 2 4 -2 -4 検出器Y[分角]

性能の決定要因 ③反射鏡の位置決め誤差 ②反射鏡鏡面の形状誤差 すざく搭載 : 1.8分角 ① 反射鏡の円錐近似 反射像 原理的な性能限界 多数の反射鏡1枚1枚 のばたつき ③反射鏡の位置決め誤差 反射像の結像位置 がばらつく 反射鏡 入射X線 非常に薄い反射鏡 ②反射鏡鏡面の形状誤差 鏡面のうねり 各点での反射像 全体の反射像 焦点面 すざく搭載 : 1.8分角 位置決め誤差 : 1.5分角 形状誤差 :    0.85分角 円錐近似 :    0.3分角 ① 反射鏡の円錐近似 反射鏡 (円錐面) 入射X線 反射鏡の放物面 と双曲面を 円錐面に近似 反射像に広がり 反射像 原理的な性能限界 この結像性能が1.8分角に広がっている要因を説明します。1つは最初に紹介した円錐近似によるものです、2次曲面を円錐面で近似しているため、像は集光せず広がりを持ってしまいます。2つの要因は、反射鏡の形状誤差です。反射鏡が180μmと非常にうすいため、表面にうねりが生じてしまい、反射したX線が広がるため、焦点面でも広がりを生むことになります。 もう1つは反射鏡の位置決め誤差です。非常に多くの反射鏡を積層しているため、その1枚1枚の位置が設計値からばらついてしまい、反射鏡1組ごとの結像位置がばらつくことにより像が広がります。 これらと決定要因を分離すると、すざくの場合は円錐近似が0.3分角、形状誤差が0.85分角、位置決め誤差が1.5分角となり、これらはそれぞれ、独立な要因であるため2乗和のルートで表され、全体として1.8分角の広がりを生んでいます。これを見て分かるように最も結像性能の主たる要因になっている、位置決め誤差を押さえることで望遠鏡の性能を向上させることができます。 位置決め誤差を抑える 〜 1.8分角 すざく搭載 : 1.8分角 位置決め誤差 : 1.5分角 形状誤差 :    0.85分角 円錐近似 :    0.3分角

位置決め誤差の要因 4段一体化 反射鏡のなす角 が変化する なす角を一定に アライメントバー アライメントプレート 反射鏡 位置決め誤差について説明します。位置決め誤差は反射鏡の1段目と2段目のなす角が設計値からずれることにより、焦点距離が変わるためにおこります。こちらは望遠鏡を横に割った図で、黄色いものが反射鏡1枚1枚になります。 すざくでは4本の櫛の歯状のアライメントバーによって、反射鏡はそれぞれ上下で支持されていました。しかし、このアライメントバーは4本独立に 動くことができるため、反射鏡のなす角が変化しやすく、位置決め誤差の要因になっています。 そこで私たちはこれら4本のアライメントバーを一体化したアライメントプレートを導入し、なす角を一定にしようと試みました。 4段一体化 反射鏡のなす角 が変化する なす角を一定に

アライメントプレート 0μm 反射鏡へのストレスにより形状誤差が悪化(34%) 反射鏡の枚数が増えると溝を埋めるのが困難 問題点 溝の遊び 0μm 問題点 反射鏡へのストレスにより形状誤差が悪化(34%) 反射鏡の枚数が増えると溝を埋めるのが困難 溝の遊び 15μm マイラー 位置決め誤差: 0.59分角 形状誤差: 0.68分角 望遠鏡: 0.99分角 0.44分角 0.91分角 1.05分角 すざくの反射鏡3組 さらに、昨年はこのアライメントプレートと反射鏡の間に残った15μmの溝の遊びに15μmのアルミナイズドマイラーを挿入することで、溝の遊びを0μmにし、さらに位置決め誤差の改善ができるか試みました。 この望遠鏡にすざく搭載の反射鏡と同等のものを3組組み込んで、マイラーを挿入する前後でX線で性能評価しました。その結果、マイラーを挿入した場合、位置決め誤差が改善され0.44分角となりましたが、形状誤差が 0.68分角から0.91分角となり34%もの悪化が起きるという問題点が見つかりました。 また、この方法は今後反射鏡の枚数が増えると、溝の数が増え実施するのが非常に困難になります。

新しいアライメントプレートの制作 ・溝幅の微調整が可能 ・同時に複数の溝を詰め ることが可能 形状を歪めず 位置決めを改善する 導入のメリット 改良点 ・溝幅の微調整が可能 ・同時に複数の溝を詰め ることが可能 ・アライメントプレート(厚さ 1.5mm)を2枚(厚さ1.0mm と0.5mm)に分離 ・マイクロメーターによる 調整機構 位置決め誤差 0.59分角を切る 溝の遊び 35μm 溝の遊び 0μm マイクロメーター 私はこれらの問題を解決するため、アライメントプレートに改良を行いました。具体的にはこれまで厚さ1.5mmであったプレートを厚さ1.0mmと0.5mmの2枚のプレートに分離しました。またマイクロメーターによる調整機構をつけました。 この改良のメリットはマイクロメーターにより、プレートをスライドさせることによって、溝幅の微調整が可能であることと、一度に複数の溝を同じだけ詰めることができると言う点です。 今回、この機構を使って、形状を歪めずに位置決め誤差を改善することを目標に、溝の遊びが35μmと、0μmに調整を行い、結像性能がどう変化するかを測定しました。また、これまで性能評価にはNASAのゴダード宇宙センターで作られた反射鏡を使用していましたが、今回は初めて自分たちで制作した反射鏡を10組組み込んで評価しました。 今回は試作した反射鏡10組を使用

アライメントプレートの調整システム 上部CCD ハウジング Zステージ 内壁 切りかき 切りかき 内壁 Xステージ Zステージ 下部CCD こちらが、実際に位置調整の際に使用した装置です。位置調整にはアライメントプレートの望遠鏡内での位置を性格に知る必要があります。望遠鏡は中心にある内壁の部分、アライメントプレートは加工時に作られた上下の切りかきを見ることでその、相対的な位置を確認しました。 この装置では望遠鏡はXステージに乗っており、プレートの動径方向に動かすことができます。また、望遠鏡上の動径方向の同じ位置を上下から拡大レンズのついたCCDカメラで観察することができ、これにより内壁と切りかきの位置を測定します。 Xステージ Zステージ 下部CCD Zステージ

アライメントプレートの位置決め 2枚(厚さ1.0mmと0.5mm)の プレートをそろえる 切りかきの望遠鏡中心からの位置 上切りかき プレート番号 切りかきの位置(mm) 上切りかき 上切りかき 下切りかき 設計値に対して 実際にこの手法で、アライメントプレートを調整した結果はこちらになります。最初は厚さ1.0mm0.5mmのプレートをともに設計値の位置である135.87mmの位置を目標に調整を行いました。その結果、調整後切りかき内壁の位置を測定すると、設計値に対して+ー10μmの精度で合わせることができているのがわかりました。またこの状態だと、溝の遊びは35μmになります。 動径方向±10μm 溝の遊び35μm 下切りかき

溝幅の調整 プレート番号 切りかき間の距離(mm) 上切りかき 下切りかき 動径方向±5μm 25μmに対して プレートの切りかき間距離 目標35μm 上切りかき 下切りかき 溝の詰めた幅 厚さ0.5mmのプレートを 内側に35μm押し込み 溝の遊びを0μmにする 溝の遊び10μm(調整後) 溝の遊び35μm(調整前) X線での評価を行った 溝の遊びを35μmから10μmに詰めるため、厚さ0.5mmのプレートを内側に35μm、マイクロメーターで押し込みました。 この時、厚さ1.0mmと0.5mmの切りかき間の距離が押し込んだ距離と等しくなるためこれをCCDカメラで見ながら調整を行いました。 実際に調整を行うと、25μmまでしか厚さ0.5μmのプレートを押し込むことができませんでした。その結果、調整後切りかき間の距離を測定したところ、25μmに対して+ー5μmの精度で調整できたことになりました。この状態だと溝の遊びがおよそ10μmm残っていることになります。この原因については後ほど説明します。 今回は、この調整の前後、溝の遊びが35μmと10μmの状態でX線により結像性能を評価しました。 厚さ1.0mmと厚さ0.5mmの プレートの切りかき間距離 溝の遊び10μm 厚さ0.5mmのプレートを 内側に35μm押し込む 溝の遊びを0μmに

望遠鏡全体のイメージ 溝幅の遊びが35μm 溝幅の遊びが10μm 半径R[分角] 光量 検出器Y[分角] 検出器Z[分角] 検出器Y[分角] こちらが、Quadrant全体にX線を当て、得られた焦点面でのイメージです。これもHPDを用いて結像性能を評価します。 その結果、溝の遊びが35μmで1.75分角、溝の遊びが10μmで1.47分角と言う結果が得られました。では、この結像性能の決定要因を分離してみていきます。 1.75 ± 0.04分角 溝幅の遊びが35μm 1.47 ± 0.04分角 溝幅の遊びが10μm

結像性能決定要因の分離 Quadrantの結像性能 Quadrantの結像性能 反射鏡の位置決め誤差 反射鏡1組ごとの結像位置のばらつき 形状誤差 円錐近似 Quadrantの結像性能 反射鏡の位置決め誤差 反射鏡1組ごとの結像位置のばらつき 反射鏡1組のイメージの広がり 円錐近似 形状誤差 位置決め誤差

位置決め誤差の見積り セクター結像位置のばらつき 反射鏡1組ごとの 結像位置のばらつき セクター内での反射鏡1組の イメージの結像位置のばらつき × セクターの結像位置 反射鏡1組ごとの結像位置のばらつき 反射鏡1組ごと の結像位置 × Quadrantの結像位置 セクターごとの    結像位置 セクターごとの結像位置のばらつき セクター まず、位置決め誤差についてみてみます。反射鏡1組ごとの結像位置のばらつきは反射鏡1組ごとにX線を当てることで得ることができます。しかし測定システムの都合からそれはできません。そこでアライメントプレート同士に囲まれたセクターを使いこの量を見積もります。反射鏡1組ごとの結像位置のばらつきはQuadrantの結像位置の周りのセクターごとの結像位置のばらつきとセクター内での結像位置のばらつきに分離できます。

位置決め誤差(セクターイメージ) セクター結像位置のばらつき 溝幅の遊びが35μm 溝幅の遊びが10μm 0.39分角 0.41 分角 検出器Z[分角] 検出器Z[分角] こちらはQuadrantの結像位置を中心としたセクターごとの結像位置を表したものです。 これらのばらつきを評価するために、原点から全点の半分が入る円の直径を用います。すると、溝幅の遊びが35μmでは0.39分角、遊びが10μmでは0.41分角となり。大きな差がないことが分かりました。セクターの結像位置はアライメントプレートのハウジング内での動径方向の位置の精度により決まるため、変化がないのは予測と一致します。 検出器Y[分角] 検出器Y[分角]

位置決め誤差(反射鏡1組ごとのイメージ) 反射鏡1組ごとの結像位置のばらつき 溝幅の遊びが35μm 溝幅の遊びが10μm 結像位置[分角] 度数[個] 位置決め誤差 結像位置[分角] 度数[個] 1.18 分角 0.80 分角 約30%の改善! こちらはセクター内での1組ごとの結像位置を、セクターの結像位置を原点に取ったヒストグラムです。横軸に結像位置、縦軸に度数を表しています。2つのヒストグラムを比べると、10μmの時の方が原点であるセクターイメージの結像位置付近に集まってきているのが分かります。さきほどと同様に原点を中心に点の半分が入る直径を用いて評価します。すると、遊び35μmでは1.18分角、遊び10μmでは0.80分角となることが分かりました。セクター内でのばらつきが小さくなっていることが分かります。これは溝の幅を狭めたことにより、セクター内で反射鏡がばたつかなくなったためと考えられます。 位置決め誤差を見積もると、35μmでは1.24分角、対して10μmでは0.90分角となり。溝を詰める前と後で30%位置決めの改善が見られました。では、形状誤差を次は見てみます。 位置決め誤差 1.24 分角 溝幅の遊びが35μm 0.90 分角 溝幅の遊びが10μm

形状誤差を見積り 反射鏡1組のイメージの広がり 検出器Z[分角] HPD 溝幅の遊びが35μm 溝幅の遊びが10μm 1.22 分角 検出器Y[分角] X線 反射鏡 焦点面 HPD 溝幅の遊びが35μm 1.22 分角 溝幅の遊びが10μm 1.30 分角 まず、反射鏡1組ごとにX線を当て、焦点面での像の広がりをHPDを用いて評価します。 すると遊びが35μmのときは1.22分角で、10μmの時は1.30分角と言うことが分かりました。反射鏡1組ごと像の広がりは円錐近似と形状誤差の2乗和で表されるので、ここから円錐近似の0.3分角を除くと、形状誤差は遊びが35μmの時は1.18分角、10μmの時は1.26分角となり、大きな変化はありませんでした。位置決め誤差が30%の改善をしていることを考えると、形状を歪めずに位置決めを改善するという目標は達成されたと考えられます。 1.26±0.04分角 溝幅の遊びが10μm 形状誤差 1.18±0.04分角 溝幅の遊びが35μm

まとめ アライメントプレートを改良(厚さ0.5mmと1.0mm) マイクロメーターによる調整法を確立 初めて自分たちで制作した反射鏡を10組使用 形状を歪めることなく 位置決め誤差を改善 望遠鏡: 1.75分角 望遠鏡: 1.47分角 溝幅の遊びが35μm 溝幅の遊びが10μm まとめます。今回私はアライメントプレートを厚さ0.5mmと1.0mmの2枚に分離し、マイクロメーターによってスライドさせることにより、溝幅を調整できるようにしました。また同時にその調整方法を確立しました。この機構を用いて初めて自分たちで制作した反射鏡を10組使用してX線で望遠鏡の性能を評価しました。その結果位置決め誤差は1.24分角から0.90分角に30%の改善が見られ、それに対して形状誤差は1.18分角から1.26分角と変化し、形状を歪めることなく位置決め誤差を改善することができました。また、結果として望遠鏡の性能は1.75分角から1.47分角と向上させることができました。 形状誤差: 1.26分角 形状誤差: 1.18分角 約30%の改善 位置決め誤差: 1.24分角 位置決め誤差: 0.90分角

問題点とその原因 問題点 原因 溝幅の調整が10μmまでしか行えなかった 位置決め誤差の改善が0.90分角に留まった 厚さ0.5mmのアライメントプレートの溝が設計値より〜7μm広い 厚さ185μmの反射鏡が存在(設計値は170μm) 反射鏡に厚さムラ(170±7μm) 実際は17μmの遊び 溝が7μm広い 溝の遊びが17μm以上 プレートの厚さムラ 185μmの反射鏡 溝幅調整を制限

今後の展望 厚さムラのない反射鏡作り 厚い反射鏡を除去する セクター内の1組のイメージ のばたつき 今回 前回 HPD(分角) 溝の遊び(μm) HPD(分角) 今回 前回 セクター内の1組のイメージ のばたつき 厚さムラのない反射鏡作り 厚い反射鏡を除去する 調整の利点を十分発揮 位置決め誤差の更なる向上