１．特 徴 自動キャリブレーション あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 軸テーブルと直接接続して制御する

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1 １．特 徴 自動キャリブレーション あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 軸テーブルと直接接続して制御する
１．特　徴 自動キャリブレーション あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 軸テーブルと直接接続して制御する 　（モーションユニット内蔵） 一回目から高精度アライメント 完成度の高いアライメントソフトが 　内蔵されており、装置の稼動が早い モニター画面を見ながら、簡単に操作 選べるサーチ手法 高速処理

2 検出基準Markの位置（図）ＵＶＷテーブル：
自動Calibration FAST特許 説明：カメラの取り付け位置を自動的に高精　　　　　　　度検出する機能 Calibration基準： 検出基準Markの位置（図）ＵＶＷテーブル： 白い→モーター停止　水色→モーター動作 ＋：テーブルの中心

3 Calibration操作 X方向シフト Y方向シフト ＋θ回転 マーク中心 ＋θ回転 マーク中心 －θ回転 －θ回転

4 あらゆるカメラ向きに対応 光軸向き不問 光軸の傾き不問 位置不問 光軸周りの回転不問 視野の違い不問 1～4台

5 様々な軸テーブルに対応 XYθテーブル UVWテーブル Ｙ１ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ２ Xθ+Yテーブル 4軸テーブル

6 4軸テーブル特徴 Ｙ１ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ２ 全方向で高剛性を保持 テーブル高精度移動 新アルゴリズムを搭載

7 軸テーブルを直接制御 (モニター) カメラ＆レンズ (PLC) モータ ドライバ (4軸ステージ) (FV-aligner-UNT)
XPe/P3-800 UNT (モニター) (PLC) (FV-aligner-UNT) モータ ドライバ (4軸ステージ) トラック ボール

8 2．LCD 液晶パネルの応用事例 液晶画面断面図 ガラス基板Ⅱ 電極 フレキシブル基板 液 晶 カラーフィルター ガラス基板Ⅰ シール剤

9 2.1 露光機 － 工 程 － 1.ステージにガラス基板を供給 2.ターゲットとなるマークを検出 3.アライメント 4.最終精度を確認
2.1　露光機 UVランプ － 工　程 － 1.ステージにガラス基板を供給 2.ターゲットとなるマークを検出 3.アライメント 4.最終精度を確認 5.ＵＶ照射して露光 6.ガラス基板を排出 カメラ マスク ステージ ガラス基板 ガラス基板

10 2.2 ガラス貼合機 － 工 程 － 1.ガラス基盤のマークをカメラ 視野に入れる 2.ターゲットとなるマークを検出
2.2　ガラス貼合機 吸着ヘッド － 工　程 － 1.ガラス基盤のマークをカメラ 　視野に入れる 2.ターゲットとなるマークを検出 3.ステージにガラス基板Ⅰを供給　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 4.ガラス基板Ⅰのマークを検出＆ 　アライメント 5.ガラス基板ⅠⅡを貼り合わせ 6.ガラス基板ⅠⅡを排出 ガラス基板 ガラス基板 ステージ ガラス基板Ⅰ シール剤 カメラ

11 2.3 点灯検査機 － 工 程 － 1.ターゲットとなるマークを検出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に 供給
2.3　点灯検査機 － 工　程 － 1.ターゲットとなるマークを検出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に 　供給 3.ガラス基板ⅠⅡのマークを検出 　＆アライメント 4.点灯検査 5.ステージからガラス基板ⅠⅡを 　排出 検査機 ステージ ガラス基板 ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板 ガラス基板ⅠⅡ

12 2.4 ACF貼合機 － 工 程 － 1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット 4.導電性テープを貼り付け
－ 工　程 － 1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に供給　　　　　 3.アライメントマークを検出＆アライメント 4.導電性テープを貼り付け 5.ガラス基板①②を排出 加熱加圧ヘッド カメラ ステージ ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板ⅠⅡ 導電性テープ

13 2.5　その他 シール剤塗布機 ダイジングカット機 スクリーン印刷機 FPC貼付機 基盤穴明機 COGマウント

14 3. システム構成例 FV-aligner-ENG FV-aligner-UNT ・位置合わせに必要な数値だけを出力する画像処理エンジン
3.　システム構成例 FV-aligner-ENG ・位置合わせに必要な数値だけを出力する画像処理エンジン ・軸制御部分は自由に構築可能 FV-aligner-UNT ・画像認識から移動量をパルス数に換算し、軸制御までを実施 カメラ FV-aligner-ENG シーケンサ等 軸ドライバ ＆ モータ 指示 移動量 カメラ FV-aligner-UNT シーケンサ等 軸ドライバ ＆ モータ 指示