精密分析室 EMAX-Evolution の使用方法 簡易版 /11/20

目次 初期画面 -5 起動の前に -3 マップデータの収集 -10 マップ作成 -11 マッピング -9 定量結果の表示 マッピングライン系列の変更 -14 マップ像の色変更 - 12 分析条件の変更 - １ 5 分析結果を確認したいとき - 16 データの保存方法 -17 起動 -4 検出器の挿入 -7 分析方法の選択 -8 終わり方 -20 テンプレート一覧 -18 検出する元素がわかっている場合 -6

起動の前に 3 目次に戻る 目的のＳＥＭ像を出しておき ＳＥＭのＷＤ Ｚを 15.0mm にする ENTER を押す 観察してデッドタイムが 低いときはＳＥＭのプローブ 電流を high にする

起動 4 電源ＳＷを入れる EMAXevolution を起動する 新しいプロジェクトの作成でファイル名 データの保存先 C:\Users\Public\Documents\( 研究室） \( 個人名） を指定する 目次に戻る

初期画面 5 ディフォルトで炭素になっているので金に変更する 目次に戻る

検出する元素がわかっている場合 6 元素を選択して含めるをクリック 目次に戻る

検出器の挿入 7 ここをクリック 測定位置にする 目次に戻る 検出器は１２時方向 から

分析方法を選択する 8 アナライザ ポイント＆ＩＤ ラインスキャン マップ 最適化 目次に戻る

マッピングをすると き 9 画像の取り込みを選択し 開始をクリックすると画像が取り込まれる 目次に戻る 新しい視野を取り込むときはここをクリック

マップデータの収集 10 開始でマッピングが始まる 適当なところで停止 目次に戻る

マップ作成 11 目次に戻る 必要な元素を選択

マップ像の色変更 12 目次に戻る マップ像の大きさ が変わる 色を選択

マッピングライン系列の 変更 13 周期律表で選択した元素の詳細をクリックする ライン系列を選ぶ 目次に戻る

定量結果の表示 14 アナライザ ポイント＆ＩＤ ラインスキャン マップ 最適化 目次に戻る

収集条件の変更 15 プロセスタイム（１－６）は大きいほど分解能が高い 標準は ５ デッドタイムは２０ % 位にする、上がらないときはＳＥＭのビームを HIGH にする 目次に戻る マップ POINT ID アナライザ ラインスキャン

分析結果を確認したいとき 16 データビューより目的の分析領域をクリックすると 結果が表示される もし表示されないときは 表示 / データビューにチェックする 目次に戻る 右クリックで編集でき、ファイル名に反映される

データの保存方法 17 分類から選択 レポートテンプレートを表示させる ＷＡＲＤファイルの見本が表示される 目次に戻る

テンプレート一覧 マップ 18 分類タイトル WordExcel マップ：１８種類 マップ像（１２枚） ●● 電子線像＋マップ像（４枚） ●● 電子線像＋マップ像（５枚） ● 電子線像＋マップ像（８枚） ● 電子線像＋マップ像（９枚） ● 電子線像＋スペクトル＋マップ像（４枚） ● 電子線像＋スペクトル＋マップ像（９枚） ●● 電子線像＋レイヤー像＋マップ像（４枚） ●● 電子線像＋レイヤー像＋マップ像（９枚） ●● 相マップ（１２枚） ●● 電子線像＋相マップ（４枚） ●● 電子線像＋相マップ（５枚） ● 電子線像＋相マップ（８枚） ● 電子線像＋相マップ（９枚） ●● 電子線像＋各相の情報＋相マップ（４枚） ●● 電子線像＋各相の情報＋相マップ（９枚） ●● 電子線像＋相イメージ＋相マップ（４枚） ●● 電子線像＋相イメージ＋相マップ（９枚） ●● 目次に戻る

テンプレート一覧 19 分類タイトル WordExcel スペクトル：６種類 電子線像＋スペクトル（１枚）縦 ●● 電子線像＋スペクトル（３枚） ●● 電子線像＋スペクトル（４枚） ● 電子線像＋スペクトル（６枚）縦 ●● 電子線像＋スペクトル（９枚） ●● 電子線像＋比較スペクトル ●● 画像：２種類 電子線像＋コメント ●● 電子線像＋画像 ●● ラインスキャン：２種類 電子線像＋ラインスキャン（重ねて） ●● 電子線像＋ラインスキャン（並べて） ●● 定量：５種類 電子線像＋スペクトル＋定量結果（概要）縦 ●● 電子線像＋スペクトル＋定量結果（概要）横 ●● 電子線像＋定量結果（複数） ●● 電子線像＋比較スペクトル＋定量結果（複数） ●● スペクトル＋定量結果（一覧詳細） ●● その他：２種類 Blank 横 ●● Blank 縦 ●● 目次に戻る

20 終わり 方 1. プロジェクトを必ず保存する 2. 検出器を戻す どちらかの方法で 3. ＳＥＭのＷＤを 8mm に戻す 4.Windows を終了したら 電源ＳＷを OFF 目次に戻る

用語集 エスケープピーク処理 エスケープピークとは検出器に入射したＸ線がある定まった確率で 1.74eV だけ低く検出されるピークです。正しい 特性Ｘ線ピーク強度を求めるためには、エスケープピークを除いた後、本来のエネルギー位置（ 1.74eV エネル ギーの高いところ ) に加える必要がある ピーク分離 特性Ｘ線の重なりを分離する処理「オーバーラップファクタ法」と「リファレンススペクトル法」がある ストイキオメトリ 試料が酸化物や窒化物などの化合物である場合に設定します。ストイキオメトリで分析する元素と他の元素の化合 比を「化学式の変更」から設定します。 バックグラウンド減算 正しい特性Ｘ線ピークの強度を求めるためには、バックグラウンドの成分の減算を「クレイマー法」を用いて行い ます ＺＡＦ補正計算 スペクトル処理で求めた各元素の特性Ｘ線強度を補正計算して濃度を求める処理で、「スタンダード法」と「スタ ンダード・レス」法があります デッドタイム 検出器の不感時間、検出器に信号が入って処理する時間がかかるため数え落としが生じる。Ｘ線の計数率が高くな るとデッドドタイムが大きくなる コンタミネーション 電子線を当てることによって鏡体中の炭化水素系の残量ガスが観察面に付着し汚れとなって見える エミッション電流 電子銃から放出される電子電流この一部が絞りを通ってプローブ電流になる ガンマ補正 画像信号の増幅器では、入力信号と出力信号は直線関係にある。これを曲線にすることで画像の明るい部分を抑え ながら暗 い部分を増幅したり、暗い部分を抑え ながら明るい部分を増幅することができる。これをガンマ補正と言う。 21

22 コア・ロス電子 試料の原子の内殻電子を励起させて、その原子特定のエネルギーを損失した状態ででてくる電子。コア・ロス電子を測定するこ とにより、元素の種類、状態密度、原子間距離などの情報が得られる。