（１）ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ応用展開ビジョンマップ ２００９年１２月１８日 年吉（東京大学） ■ 機械・材料力学 ■ 化学 ■ 電気・電子工学 ■ 光学・微小光学 ■ 高周波工学 ■ 通信工学 ■ 生化学･医療 ■ 有機，無機材料 ■ ナノテク 基礎技術の 流れは “３つのＭ” Micro Multi Mass ナノ加工、機能分子集積化、バイオ融合 生体模倣マシン･センサ、回路集積化、通信 異機能素子の大規模集積化、大面積化 2005 2010 2015 2020 2025 2030 2035 2040 2000 年代 集積素子数 106 104 102 100 感じ、考え、動く 異機能複合 マイクロ･ナノ システムの実現 お手本は生体の 自律分散システム 見る・聞く・話す・映す MEMS壁紙 画像表示器 身に着ける コンピュータ スマートスキン スマート衣服 においディスプレイ 集積化ＭＥＭＳ 味覚ディスプレイ 体内埋め込みチップ 人工臓器骨格 バイオプリンティング マイクロ 流体システム 光ファイバ・無線 センサネットワーク 健康診断チップ 脳マシン インタフェース 体内マイクロ ロボット 宇宙用 マイクロマシン 光ファイバ内視鏡 光通信･センサ 分子の直接操作 バイオナノマシン 人感センサ 衝突防止レーダー カプセル内視鏡 ロボットセンサ 可変焦点老眼鏡 コンタクトレンズ 超小型分光分析 システム 超小型エネルギー源 自動車センサ 酒酔検出 光通信 バイオ ＶＬＳＩ ナノテク 生体･医療 ・・・
（２）ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ製造技術ビジョンマップ ２００９年１２月１８日 年吉（東京大学） トップダウン ボトムアップ 技術融合メタシステム 安心・安全技術への展開 ナノ・バイオ領域への新たな展開 次世代エレクトロニクスの展開 システム 運動機能 機能集積 電子機能 トップダウン的 アプローチ 1 m 発現機能 ナノ インプリント 印刷技術 バイオ化学機能 素子 光学機能 トップダウン・ボトムアップ 融合領域 1 mm 原子操作 システム 全体の寸法 ナノ機能 従来の MEMS, NEMS ボトムアップ的 アプローチ 遺伝子工学 半導体プロセス （量子構造） 1 um 材料 化学合成 Å 1 nm 10 nm 100 nm 1 um 10 um システム設計の解像度
（３）ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ発展史マップ ２００９年１２月１８日 年吉（東京大学） ＲＣＡ社 ＣＲＴ用シャドーマスク(1951) K. Petersen レビュー論文 “Silicon as a Mechanical Material” (1982) R. Feynman 講義 “Plenty of Room at the Bottom” (1959) ボッシュ社高アスペクト比 ドライエッチング特許(1996) ＵＣバークレー ポリシリコン３次元構造(1996) 1950 1960 1970 1980 1990 2000 2010 1/64インチモータが ファインマン賞を受賞(1960) ウェスティングハウス社 プロジェクション型ディスプレー(1975) テキサス･インスツルメンツ ＤＭＤプロジェクタ(1996) マイクロマシニング分野 各社インクジェット プリンタ(1990頃) ルーセント 光クロスコネクト(1999) マイクロアクチュエータ分野 マイクロセンサ分野 ＵＣバークレー静電マイクロモータ(1988) ＳｉＴｉｍｅ社 シリコン共振子(2008) AT&T, ＵＣバークレー マイクロギヤ(1987) ＳＯＮＹ ＧｘＬ(2005) 1950 1960 1970 1980 1990 2000 2010 1986年 ヌシャテル大 サーボ型加速度センサ(1986) ウェスティングハウス社 共振ゲートトランジスタ(1967) スタンフォード大学 集積化ガスクロマトグラフィ(1975) アナログデバイス社 加速度センサ(1991) 東北大学 マイクロ ISFET(1973) ミシガン大学 神経プローブ(1991) アナログデバイス社 ジャイロ(2002) 豊田中研 半導体圧力センサ･歪みゲージ(1963) ミシガン大学集積化圧力センサ(1979) 1950 1960 1970 1980 1990 2000 2010