MEMSパークコンソーシアム 平成20年度活動報告及び決算報告 報告事項１ MEMSパークコンソーシアム 平成20年度活動報告及び決算報告

平成20年度の活動方針（平成19年度総会決定） 【活動方針】 ①情報発信事業 ②人材育成事業 　国内外の支援機関等とのネットワークを形成しつつ、ＭＥＭＳ分野の技術･市場を開拓していくために必要な研究開発や事業化に対する支援を行います。 ①情報発信事業 　・セミナー、WEBサイト、メーリングリストにより情報発信を充実します。 ②人材育成事業 　・経済産業省事業「MEMS中核人材育成事業」を継承し、上半期中に事業実施のための枠組み　　 　　を構築し、下半期を目途に事業を実施します。 ③技術相談事業 　・MEMSに関する研究者、公設試等産業 支援機関等とのネットワーク形成を進め、MEMSに関す 　 るワンストップ相談窓口を構築し、下半期を目途にサービス提供できる体制を整えます。 ④ネットワーク活動 　・カフェ形式のセミナーを開くことにより、会員相互及び講師の方々との情報交流を促進し、MEMS　 　　分野における研究者、技術者と会員相互のネットワーク形成を支援します。 ⑤MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討 　・MEMS関連産業の集積を促進する企業化、製品化等に向けたプロジェクト創成について検討を 行います。

平成20年度の活動実施概要 ①情報発信事業 ②人材育成事業 ③技術相談事業 ④ネットワーク活動 　・MEMS集中講義の開催（参加者121名）及び公開セミナーの開催（3回） ・展示会への出展（第19回マイクロマシン展、セミコンジャパン2008） 　・ＭＥＭＳＰＣニュースの配信（一般向け23回（569部発行/回）、会員向け67回） 　・ＭＥＭＳパークコンソーシアムパンフレットの作成、ＨＰの改訂 　・後援したイベント（仙台国際フォーラム、仙台-オウルプリンテッド・エレクトロニクスワークショップ　他 6件） ②人材育成事業 　・基礎講座（インターネットスクール）の実施　受講者数：108名 　・設計実習の実施　受講者数：5名（受講企業3社） 　・試作実習の実施　受講者数：3名（受講企業1社） ③技術相談事業 　・技術相談を実施 ④ネットワーク活動 　・ＭＥＭＳＰＣカフェの実施　9回 ⑤MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討 　・他機関との連携：（財）福岡県産業・科学技術振興財団（ふくおかIST), 　　　　　　　　　　　　：（独）産業技術総合研究所グリーンプロセスインキュベーションコンソーシアム(産総研GIC) 　※今年度：会員数107社、前年度：会員数１10社　

平成20年度の主な活動について 4

平成20年度の事務局活動報告 １．事業運営のためのワーキンググループの実施 各事業の運用を検討・運営するためのワーキンググループを実施。 　 各事業の運用を検討・運営するためのワーキンググループを実施。 　 実施回数：30回 　 事務局構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局 ２．人材育成事業運営のためのワーキンググループの実施 　 人材育成事業試作実習の実施方法検討・運営のためのワーキンググループを実施。 実施回数：12回 　 構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局、 　　　　　 　　　　　 宮城県産業技術総合センター、株式会社メムス･コア　 ３．事業内容検討のための推進委員会の実施 　 20年度事業の進捗確認、21年度事業検討のために設置された推進委員会の実施。 　 実施回数：2回 　 構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局 　　　　　　 　　　　 東北経済連合会、東北セミコンダクタ株式会社 ４．産業支援機関ネットワーク形成のための公設試訪問 　 福島県ハイテクプラザ、山形県工業技術センター、岩手県工業技術センターの訪問。

平成20年度活動の総括 ①情報発信事業 　LSI技術の集積地である福岡地域（ふくおかＩＳＴ）でMEMS集中講義を開催した結果、福岡地域の企業と本地域の企業がMEMS技術とLSI演算処理回路の集積化に向けた開発を進めるなど、MEMS技術の情報発信がMEMS技術の高集積化や複合化に寄与した。 ②人材育成事業 ・経済産業省事業「MEMS中核人材育成事業」を継承し、独立採算制で事業を実施した。 ・基礎講座に対しては年間100名を超える登録者があり、MEMS技術を理解する人材を増やす目的としては　 一定の効果があった。 ・MEMS開発をしていない企業が設計実習･試作実習に技術者を派遣するなどMEMS産業の裾野を広げる効 果はあったが、会員企業等からの参加が少ないため、会員企業のニーズに対応した実習を検討する必要が ある。 ③技術相談事業 　MEMSパークコンソーシアム及び関係機関には様々な相談が寄せられた。 ④ネットワーク活動 　MEMSPCカフェを通じて、MEMS技術研究の第一人者である研究者や企業との活発な意見交換が図られ、MEMS関連技術・研究分野のネットワーク網が拡大した。 ⑤MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討 　上記の事業を進めることでMEMS技術と異分野との技術開発が図られた。今後とも、各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、MEMS関連産業の集積を促進する事業化、製品化等に向けたプロジェクト創成に繋げていく。

MEMSパークコンソーシアム 平成20年度決算報告

平成20年度MEMSパークコンソーシアム予算案 （平成19年度総会決定）

平成20年度MEMSパークコンソーシアム決算報告 平成21年3月31日予定

MEMSパークコンソーシアム 平成21年度活動方針及び予算案 第1号議案 MEMSパークコンソーシアム 平成21年度活動方針及び予算案

平成21年度の活動方針 【活動方針】 　平成２０年度の結果を踏まえ、人材育成事業の活動を促進し、会員企業に対しての技術的なサービスを強化します。 ①情報発信事業 　他機関との連携による効果的なセミナーを実施し、MEMS技術の高集積化や複合化を積極的に促すとともに、　WEBサイト等を利用し、これまで以上に会員企業からの情報発信の充実を図ります。 ②人材育成事業 　試作実習に関しては会員企業等が自ら企画したデバイスの試作実習ができるように講座内容を変更するなど、　企業ニーズに対応した人材育成事業を実施します。また、次世代のMEMS技術を担う若い人材を育成するため　　　第１回 International Contest of Applications in Nano / Micro Technologies (iCan2009)事業（MEMSデバイスを用いた　　アプリケーションを提案、試作する国際コンテスト）への事業運営サポートを通じ、大学生等をターゲットにした人材育成を行います。 ③技術相談事業 　MEMSに関連する研究者、公設試等産業支援機関等とのネットワーク形成を進めます。 ④ネットワーク活動 　「MEMSPCカフェ」の更なる充実を図り、会員同士、講師の方々との情報交流を促進し広範なネットワーク形成を支援します。 ⑤MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討 　各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、関係機関とも連携を密にしながら、プロジェクト創成に向けた支援について検討していきます。

MEMS分野の研究開発・産業化に関する情報の収集及び提供に資する事業 （Ⅰ）情報発信事業 MEMS分野の研究開発・産業化に関する情報の収集及び提供に資する事業 ・セミナーの開催 　MEMS技術に関する様々なテーマを設定して、MEMS技術の普及を図ります。 　主要イベントは以下のとおりです。 　①MEMS集中講義 　　　　マイクロマシニングの基礎概論からアプリケーションへの応用など、MEMS技術について３日間集中的に 　　　講義を行います。 　②MEMSPC/産総研GIC共同シンポジウム 　　　　産総研GICとの共催によりバイオとMEMS技術の融合をテーマとしたシンポジウムを開催します。 　　　※この他にもセミナーの企画を行います。 　　　　 会員の皆様からのテーマの提案をホームページにて受け付けています。 　　 　　希望するテーマがございましたら、ホームページよりご提案ください。 ・WEBサイト、メーリングリストの充実 　 MEMSPCは情報発信の充実を図ります。 　　※ホームページ上で、会員の皆様からの情報をお待ちしております。 　　　　会員企業様の新製品情報、会員企業様が主催するセミナー等がございましたら、ご投稿ください。 ・マイクロマシン／ＭＥＭＳ展、セミコンジャパンへの出展

MEMS分野の研究開発・産業化のために従事する人材の育成に資する事業 （Ⅱ）人材育成事業 MEMS分野の研究開発・産業化のために従事する人材の育成に資する事業 　MEMS技術の事業化に必要な「中核人材」の育成を実施。既存産業の高付加価値化、 競争力強化のため、MEMS技術全般を体系的に習得した人材を育成します。 ・MEMS人材育成講座 　MEMS技術に関する基礎的な講義及びプロセス技術の概要についてスクーリングを 行います。併せて試作プロセス実習を行うことで、MEMSデバイス製造の一連の流れを学習するとともに、デバイスの試作開発を行います。 講座名 講座内容 所要時間 基礎講座 MEMS開発に必要な企画，設計，試作，評価に関わる基礎知識を習得する。併せて，MEMSのｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝ，事業化に必要な技術経営についても学ぶ。ｲﾝﾀｰﾈｯﾄｽｸ-ﾙを利用して受講する。 20コマ (41時間) 設計実習 試作するﾃﾞﾊﾞｲｽを企画した後，MEMS専用設計解析ｿﾌﾄｳｴｱであるCoventor Wareを利用して設計を行う。ｿﾌﾄｳｴｱの使い方を学習し，ﾃﾞﾊﾞｲｽの解析，ﾌﾟﾛｾｽの設計，ﾏｽｸﾊﾟﾀｰﾝ設計の能力を養う。 2日間～ 10日間 試作実習 自ら企画したﾃﾞﾊﾞｲｽについての試作を行う。4ｲﾝﾁのﾌﾟﾛｾｽﾗｲﾝを用い，ﾏﾝﾂｰﾏﾝに近い指導を行い，装置の原理，使い方，ﾌﾟﾛｾｽのﾉｳﾊｳを学習する。試作したﾃﾞﾊﾞｲｽを評価し，ﾚﾎﾟｰﾄにまとめる。 約3ヶ月

MEMSパークコンソーシアム 21年度事業 （Ⅱ）人材育成事業（基礎講座） ①実施概要 　　東北大学のインターネットスクール（ISTU）を活用し、e-learningによりMEMS開発に必要な企画、 　設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。 　　また、併せて、MEMSのアプリケーション、事業化に必要な技術経営についても学ぶことができる　　 　ようになっています。 ②対象 　　初心者（工学系大学卒業程度）から、既にMEMSに携わっている技術者等 ③実施内容 　　全20コマ（受講時間41時間）で、講義は必要なところだけ受講することも可能です。 　　また、受講期間に制限は設けず、受講者のペースでの受講も可能です。 ④受講料 　　無料（会員、非会員問わず） 　　（インターネットに接続できる環境が必要です）

MEMSパークコンソーシアム 21年度事業 （Ⅱ）人材育成事業（設計講座） ①実施概要 　　MEMS専用設計解析ソフトウェアである「Coventor Ware」を活用し、基本的な使用法について学ぶ 　だけでなく、MEMSデバイスを試作する前に、試作デバイスの性能を見積り、製造工程の適否などの 　検証も可能なコースを実施します。熟練した技術者により、ほぼマンツーマンで指導を受けることが 　可能です。 ②対象 　　初心者（工学系大学卒業程度）から、既にMEMSに携わっている技術者等 ③実施内容 　　入門コース（ 2日間）：Coventor Wareの基本的使用法の学習 　　基礎コース（ 5日間）：入門コースに加えて、選択した課題に取り組み、 　 設計解析の基礎を学習 　　実践コース（10日間）：入門コースに加えて、各自が作製したいデバイス について自由に設計、解析を行う ④受講料 　　コースによって異なります。 詳しくはホームページをご覧下さい。 解析のための3Dモデル

MEMSパークコンソーシアム 21年度事業 （Ⅱ）人材育成事業（試作実習） ①実施概要 　自ら企画したデバイスについての試作を行う。４インチの　プロセスラインを用い，マンツーマンに近い指導を行い，装置の原理，使い方，プロセスのノウハウを学習します。 ②予定 　下半期の講座実施を予定しています。 ③対象 　　既にMEMSに携わっている技術者等 ④受講料 　　実費を算定して徴収します。 容量型3軸加速度センサの試作例 1.カリキュラムをトータルで受講した場合の受講期間は、約4ヶ月となります。 2.受講前に事前打合せを行い、設計、試作内容を決定します。

MEMSパークコンソーシアム 21年度事業 （Ⅱ）人材育成事業（iCAN2009） 仙台にて国内予選を10月に開催。国内予選を勝ち抜いた３チームが中国で2010年1月に開催される世界大会に出場します。 ②スポンサー MEMSIC , Nippon Signal , China Star , Nano-Micro , Jinshan , MicroChip ③対象者 大学生、大学院生 ④スケジュール 2009年4月～6月　国内予選出場者募集 2009年6月　書類審査 2009年10月　国内予選大会開催（Sendai） 　主催：東北大学、MEMSパークコンソーシアム 2010年1月20日～23日　iCAN2009開催（中国　厦門） ⑤賞金（世界大会） 1st Prize：3000USD 2nd Prize：2000USD 3rd Prize：1000USD Special Awards：500USD 参加国（予定）

MEMS分野の研究開発・産業化を支援する事業 （Ⅲ）技術相談事業 MEMS分野の研究開発・産業化を支援する事業 ・MEMSパークコンソーシアム技術相談 会員の皆様からの技術的な相談については、ホームページにて随時受け付けています。 ※技術相談窓口は事務局となります。また、ご要望に応じて、秘密保持契約を締結することも可能です。 ※こちらからの出張も可能ですので、お気軽にお問い合わせください。

MEMSパークコンソーシアム 21年度事業 （Ⅳ）ネットワーク活動 ・MEMSPCカフェの開催 　会員相互、講師の方々とのネットワーク形成の場として、カフェ形式のセミナー（MEMSPCカフェ）を開催します。軽食を取りながら、講師の先生や様々な企業の方々との意見交換を行い、事業連携や共同研究等に繋がる場を提供します。 　 ※一口につき、各会員一回一名の参加が可能です。 　 ※ホームページにて取り上げて欲しいテーマの募集及び事業紹介を行いたい企業を募集しております。 　　 MEMSPCカフェは会員の皆様と作り上げていく事業ですので、是非テーマをご提案ください。 第4回MEMSPCカフェ in Fukuoka 第7回MEMSPCカフェ in TOKYO

（Ⅴ） MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討 　各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、関係機関とも連携を密にしながら、プロジェクト創成に向けた様々な形での支援について検討していきます。 新産業の創出 東北大学江刺教授が 保有する革新技術の ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ創出に 向けた展開 社会に ｲﾝﾊﾟｸﾄを 与える革新的な 市場の提唱 仙台地域に 国際的に卓越した MEMS技術の ﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑ形成 未知なる 技術・市場の 開拓・創成 MEMS関連 ﾌﾟﾛｼﾞｪｸﾄの創出 産業振興 基礎の強化 国内外研究 機関による ﾈｯﾄﾜｰｸ MEMS 技術を応用 MEMS開発人材育成 MEMS開発情報発信と共有化 MEMS関連機関との連携 先端的研究開発の実践 新たな産業の創出 21

MEMSパークコンソーシアム 平成21年度予算案

平成21年度MEMSパークコンソーシアム予算案

MEMSパークコンソーシアム 規約の改定について 第2号議案 MEMSパークコンソーシアム 規約の改定について

MEMSパークコンソーシアム 規約の改訂について 　団体運営に必要な文言を追加するため、規約の改定を行う。 ＜主な改定点＞ ①第2章　「会員」　関係 　 会員の年会費を規定 ②第3章　「組織及び役員」　関係 　 各役員の職務及び定員を規定 ③第4章　「会議」　関係 　 総会等の審議事項及び議決方法等を規定 ④第5章　「経理及び事務」 　 事業年度を規定 改定規約案は別紙参照 本改定は21年4月1日より施行する。

（参考） MEMSパークコンソーシアム 運営組織図