ポスター作成について （テンプレートファイル利用について） Making Poster フッターは変更不可 ＊プリントサイズの基本はB1縦 ＊注意書きは「グループ化」してあるので， いずれかの部分を削除すれば，全て消える． ヘッダー背景は変更不可 図の表記方法．背景色は変更不可 所属の学章，シンボルなどはここへ 申込番号 発表者の写真(任意） 発表者の氏名(任意） アブストラクトの表記方法は変更不可．長さは適宜変更可能． 項目の表記方法，背景色は変更不可．項目名は任意． 表の表記方法，背景色は変更不可 枠線の大きさ，色は変更不可 連絡先などはここに表記 日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第１回若手ポスターシンポジウム ポスター作成について （テンプレートファイル利用について） Making Poster (About the use of the specification template file) 0321 機械 太郎 T. Kikai 機械 太郎*1，技術 さくら*2 *1日本機械大学， *2日本機械大学 工学部 Abstract Thin film shape memory alloys (SMAs) have advantages of high recovery stress and strain. To apply thin film SMAs to MEMS actuators or sensors, it’s important to characterize the material properties such as transformation features. In this research, a high-throughput measurement method of transformation temperatures and thermal hysteresis of thin film SMAs is proposed, and accomplished using thermography. 1. 目的 Purpose サーモグラフィを用いた薄膜形状記憶合金の変態温度特性 ハイスループット評価法の提案，およびその実現 2. 実験方法 Principle ・サーモグラフィ：物体の赤外線放射を検知，表面の温度分布を表示 ・サーモグラフィの指示温度Taと実際の温度T：Ta ∝ e T (e ； 放射率) ⇒相変態に伴う e の変化 ： T-Ta曲線の傾きの変化として検出(Fig.1) ３. 実験結果 Experimental set up ・サーモグラフィ：CHINO CPA-SC640 ・実験装置構成 (Fig.2) ・原理確認：Ti47.6Ni7.8Pd44.6 at.% (Fig.3) 従来の測定法とMs，As，ΔT を比較⇒測定成功 4. 考察 Thin film libraries ・成膜：RFマグネトロンスパッタ装置(合成スパッタ)，TiNiPd ・測定：エネルギ分散型蛍光X線分析装置(組成)，X線回折装置(相) ・薄膜ライブラリ(Fig.4)：温度参照エリア付 ⇒アルミナの放射率同定，熱画像から温度を取得 5. 結論と今後の課題 Conclusion and Future Works ・組成傾斜薄膜ライブラリで， Ms，As，ΔT のハイスループット評価に成功(Fig.5) ライブラリ1：示差走査熱量計(DSC)結果とMs，As，ΔT を比較 (Table 1) ライブラリ2：相測定より，析出物による析出相を観察⇒形状記憶発現せず Fig.1 T-Ta curve with emissivity change Fig.2 Schematic of experimental setup Table1 Results of Ms, As, ΔT measurements by thermography and DSC (unit is K) Fig.3 Confirmation of the method Fig.４ Thin film library Fig.5 Maps of Ms, As evaluated by the proposed method http://www.mech.jsme.ac.jp E-Mail : taro@mech.jsme.ac.jp TEL : 03-5360-3500