（株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 2011/01/08 於: 国立天文台岡山天体物理観測所会議室 研磨関連報告 （株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 2011/01/08 於: 国立天文台岡山天体物理観測所会議室
もくじ ・曲率基準鏡の研磨について ・「やとい」つき研磨の流れ ・予定
曲率基準鏡 ・セグメントとＣＧＨ干渉計のみではワークのＲについての 情報が得られない（① or ②） CGHユニット レーザー ・曲率基準鏡（研削機に固定）をＣＧＨで測定 →フラットに見える高さにＣＧＨユニットを移動 ・セグメントとＣＧＨ干渉計のみではワークのＲについての 情報が得られない（① or ②） ・ワークの厚みなどに違いのある複数のセグメントの Ｒをそろえる必要 ・セグメントと曲率基準鏡の高低差を レーザー変位計で測定 →高低差分だけさらにＣＧＨユニットを移動
曲率基準鏡研磨 1:面粗さを取るための研磨 （Ｒ付きΦ60パッド使用） 2:CGH 撮像、形状取得 3:形状補正 （ＲなしΦ30パッド使用） （Ｒ付きΦ60パッド使用） 2:CGH 撮像、形状取得 3:形状補正 （ＲなしΦ30パッド使用） 研磨前最終形状 目標形状 →40mm幅でP-V:600nm
研磨過程 9/21～9/30 共通パラメータ 回転数：160 rpm 錘質量：7kg ①：研磨１後 （Φ60, 156min.） Φ30パッド（フラット）のＰＳＦ測定 ④：研磨４後 （ Φ30, 114min.） 最終形状 ① ② ③ ④
基準高さの測定精度 ・ＣＧＨユニットの高さを40umステップで変化させて曲率基準鏡を測定 ・前後の形状差をプロット ・40umの違い（20nm程度の形状差）を識別可能
やとい付き研磨 これまでの問題点 エッジ付近の形状 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく研磨する方法は？ やとい付き研磨 これまでの問題点 エッジ付近の形状 エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく研磨する方法は？
研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性 やとい付き研磨 効能 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから パッドが落ちないようにする！ やとい セグメント 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
やといつき研磨の流れ やとい：R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ２：セグメントの周囲に設置 →レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨
今後の予定 ・来週、横やとい加工終了 ・上下辺やといの研削開始 ～１月末 ・冶具調整 ・3月以降、やとい付き研磨開始