微細加工班 佐藤研OB会プレゼン資料 03．11．22 佐藤研OB 手塚 智之 （森下研所属；M1） 山本 尚弘(4年) 微細加工班出身 松本 剛氏 佐藤研OB 手塚 智之 （森下研所属；M1） 山本 尚弘(4年)
非常に良い基板表面の平坦性を得る事ができる。 磁性体の微細加工技術は、近年興味が集中しているが、歴史が浅い。 →高アスペクト比を持ったドットの研究はあまりなされていない。 薄膜やバルクには見られない磁気特性が見られ, パターンドメディアなどの磁気デバイスに応用することができると考えている。 ・微細加工班は何してるの？ ナノサイズの磁性体埋め込み構造の作製 ダマシン法による磁性体ナノ構造の作製と評価 非常に良い基板表面の平坦性を得る事ができる。 MFM測定に好都合！
ダマシン法 Damascean Technique 半導体の微細配線技術に用いられる、微細加工技術。 レジスト塗布 EBリソグラフィ 現像 ドライエッチング レジスト除去 EB蒸着 CMP 余分な凹凸 露光部 レジスト Si（100）基板
作製してきたパターン 100nm×100nm dot array 300nm×100nm dot array エッチング後の実際の形状 100nm 300nm 300nm 150nm 300nm 100nm×100nm dot array 300nm×100nm dot array 300nm cross dot array 1500nm 1μm×1μm dot array
･Rectangular dots ･Circular dots 300nm 2.5μm 1μm SEM image SEM image MFM image MFM image
・Square dot ・Cross dot SEM image MFM image 1.5μm MFM image MFM image
今後の予定 ･深さを変えた試料の作製と評価 (山本卒論テーマ) ･ 大きさを変えた試料の作製 (佐藤研OB森下研所属 手塚) コーヒー