宇宙X線の Imaging Spectroscopy （Suzaku/XIS/X線CCD) 高感度、低バックグランド。 JAXA、京大、阪大、MITに加え立教大、愛媛大、工学院大が開発を担当 X線望遠鏡の焦点面検出器、X線CCDカメラ。 ©CSR/MIT CCDカメラ（XIS) CCD素子
X線CCDの原理 1mm 宇宙線(広がる) X線 CCD バックグランド除去 半導体検出器(SSD)を(百万個）並べた素子。信号はバケツリレー で送る ：千回の転送で１個も電子を落とさない （電荷転送非効率） X線CCDの原理 光電吸収 1画素(24μm) 50－70μm 空乏層 1画素 3画素 2画素 電極 (不感層) Gate(珪素) 絶縁膜 (二酸化珪素） 空乏層 (珪素) 1mm X線CCDのX線イベント（実物） 電子雲 X線 宇宙線(広がる) CCD X線イベント バックグランド除去
超新星残骸E0102のFI観測の例 かなりのNXB (～98%) を落とせる。 全グレード 4.7x105cts
電荷転送非効率： 打ち上げ後、放射線損傷により、ゲインが下がる、エネルギー分解能が悪くなる （電荷が失われる）。 電荷転送非効率： 打ち上げ後、放射線損傷により、ゲインが下がる、エネルギー分解能が悪くなる （電荷が失われる）。 55Fe Mn Kα 55Fe Mn Kα中心Pulse Height
電荷注入による性能回復（犠牲電荷法)： 電荷注入の様子 時間 人口的に電荷を注入して格子欠陥（トラップ）のホールを電子で埋める 転送方向 X線イベント 電荷注入の様子 転送方向 注入電荷 転送方向 時間 注入電荷
ペルセウス銀河団による実証 ゲインがあがり、分解能も向上している。 XIS0 Segment B He状FeのKα線 赤: 電荷注入適用 黒: 電荷注入なし He状FeのKα線 XIS0 Segment B 分解能 (FWHM) 157+/-4 eV 205+/-6 eV ゲインがあがり、分解能も向上している。