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研磨関係進捗報告 やといつき研磨セットアップ

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Presentation on theme: "研磨関係進捗報告 やといつき研磨セットアップ"— Presentation transcript:

1 研磨関係進捗報告 やといつき研磨セットアップ
研磨関係進捗報告 やといつき研磨セットアップ  (株)ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 2011/04/23 第23回新技術望遠鏡技術検討会 株式会社ナガセインテグレックス第1ホール

2 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
やといつき研磨 効能 全ての点に対してパッドの滞在時間を揃えるのが理想 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから パッドが落ちないようにする! やとい セグメント 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性

3 やといつき研磨の流れ やとい:R大側円弧×2、側面×2、R小側円弧×1 1:やといのみで研削(上下辺、左右辺のセット)
2:セグメント研削、やとい設置  →レベリングブロックで高さ調整(段差5um以内目標)  →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 3:CGHで形状を確認しながら研磨

4 やといつき研磨までの流れ やとい:R大側円弧×2、側面×2、R小側円弧×1 1:やといのみで研削(上下辺、左右辺のセット) ~1月末
1:やといのみで研削(上下辺、左右辺のセット) ~1月末 2:セグメント研削、やとい設置  →レベリングブロックで高さ調整(段差5um以内目標)  →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 3:CGHで形状を確認しながら研磨

5 やといつき研磨までの流れ やとい:R大側円弧×2、側面×2、R小側円弧×1 1:やといのみで研削(上下辺、左右辺のセット)
2:セグメント研削、やとい設置  ~4月22日  →レベリングブロックで高さ調整(段差5um以内目標)  →ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定 3:CGHで形状を確認しながら研磨

6 やとい設置のポイント ・測定時にセグメントに影響がないように接触させない ・セグメントとの段差
・研磨パッドによる圧力対策 ・温度変化によるやといの変形防止   片側が濡れた状態では、気化熱による温度変化で10数umの変形 スラリーが垂れる→隙間はできるだけ小さい方が良い→0.5mm →0が理想だが、どちらかといえばやといが高い方がよい →5um以内に →100Nで押したときの変化が5um以内になるように支持点 →ビニールハウスで湿度を保ち、蒸発を防ぐ

7 やとい設置の流れ やとい配置終了 側面やといの設置 内周側やといの設置 セグメントの変形、転覆防止の剣山冶具

8 今後の予定 ・来週から研磨開始 ・5月中に蒸着試験用を完成させる

9 この後、工場にて デモ研磨を行います。


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