研削実験の状況報告 第17回新技術望遠鏡技術検討会 2009年7月25日 名古屋大学 所 仁志
前回のおさらい 90 min./pass セグメント 非軸対称形状 粗加工（#170）
前回のおさらい レーザー変位計 + X-Y同期形状ならい、8方向 補正なしで ~4 mm (p-v)、非軸対称性はなさそう
4月からC社に依頼されたレンズ（計2枚）の加工 1枚目のレンズでトラブル - 当初は5月中旬に終わる予定だった… 1枚目のレンズでトラブル - 仕上げ直前にスクラッチ発生、原因解明・対策・修復に1.5ヶ月以上 現在、2枚目を加工中 今回はスクラッチについて報告 4
ワーク 直径880 mm, 近似R1,500 mm非球面, 66 mm凹 直径880, 近似R1500, 凹66 #170 #325 #1,200の順に加工、#1,200（平均粒径14 mm）でスクラッチ発生
スクラッチ 計3箇所、半径（砥石回転）方向 幅~0.3 mm, 長さ~10 mm 深さ~50 mm 中心 6 R190 mm (5/12)
クラックが進行する恐れがあり、手研磨で除去（~300 mm） 顕微鏡による観察（×300） 1 mm 中心 クラックが進行する恐れがあり、手研磨で除去（~300 mm）
スクラッチ発生原因 加工プログラムの確認中に発生、ワークと砥石の隙間は20~100 mm (#1,200平均粒径：14 mm) 異物の発生原因 - 砥石エッジの欠け - 砥石カバー内の汚れ - 研削液の浄化が不十 100 mm - 研削液の浄化が不十分 8
異物の採集1 10 mmメッシュフィルターで研削液を濾過（半日） 9
異物の採集2 メーカー仕様では“濾過精度0.5 mm”のはずが… 10
異物 錆・塗装片などの除去のため、有機溶媒・酸処理 割り箸の先に異物を付着させて、ガラスをこする “ガラス切りの感触で（舞原先生）”スクラッチがついた 11
研削液の循環（対策前） ダーティー槽とクリーン槽がタンク底面でバイパス 研削盤から フィルター （5mmメッシュ） 研削盤へ 3 m 12
研削液の循環（対策後） タンク-研削盤の間に2段のフィルターを設置 フィルター （100mmメッシュ） 研削盤から フィルター 研削盤へ 3 m 1.5 m フィルター （10mmメッシュ） 13
まとめと予定 フィルターを設置することで、異物の混入はなくなった（スクラッチの発生もなくなった） 2枚目のレンズは8/5に出荷予定 2 8/6からセグメントの加工を再開 - 研削時はもぐらを使わない（温度むら・変化によって、基盤形状が時間変化するため） - t20 mmの面板を使用 14