半導体の歴史的経緯 1833年 ファラデー AgSの負の抵抗温度係数の発見 1874年 ブラウン PbSと金属との点接触でV-I特性の非直線性を発見 1874年 シュスタ CuOとCuの接触で非オーミック性を発見 1920年 グロンダール 亜酸化銅整流器を試作
半導体の歴史的経緯 1926年 プレッサ Se整流器を発表 1926年 シュレディンガー 波動方程式の確立 1926年 シュレディンガー 波動方程式の確立 1928年 ブロッホ 固体のバンド理論 1932年 ウィルソン 金属ー半導体接触整流理論
半導体の歴史的経緯 1939年~1942年 モットー、ショットキー、ベーテ 理論解析 1947年 バーディン 表面準位の導入 1939年~1942年 モットー、ショットキー、ベーテ 理論解析 1947年 バーディン 表面準位の導入 1948年 バーディン、ブラッティン 点接触トランジスタの発見 1949年 ショックレー pーn接合理論発表
半導体の歴史的経緯 1950年 ショックレー 接合形トランジスタの試作 1957年 江崎 トンネルダイオードを発表 1950年 ショックレー 接合形トランジスタの試作 1957年 江崎 トンネルダイオードを発表 1962年 レディカ GaAsレーザダイオードの試作 1970年 BTL CCDの試作
第一章半導体とその種類 1.1導体・半導体および絶縁体 抵抗率 ρ(Ω・m) R= ρ・L/S 抵抗率の温度依存性 導体 正の温度係数 半導体 負の温度係数 エネルギーバンド構造 導体~伝導帯に電子あり 絶縁体~伝導帯に電子なし 半導体~伝導帯に電子なし(低温)
1.2半導体材料 元素半導体 Ge, Si のようにⅣ族の単一元素からなる半導体 物理的な性質は定められている。 化合物半導体 GaAs, InPのようにⅢ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族の化合物からなる半導体 物理的な性質は組み合わせによって異なる。
1.3半導体結晶 原子構造 ラザフォードの原子モデル 原子 原子核(陽子、中性子) 電子:物質の電気的特性を決定 原子構造 ラザフォードの原子モデル 原子 原子核(陽子、中性子) 電子:物質の電気的特性を決定 電子層 電子軌道 主量子数nにおける電子数 n=1( 2個) n=2 (8個) n=3 (18個) 最外殻の電子:価電子(valence electron)
Ⅳ族元素の電子配置 四個の電子が価電子 価電子は八個で安定 共有結合(covalent bond) 電子:物質の電気的特性
1.4真性半導体 (intrinsic semiconductor) 外部エネルギー→半導体 価電子は原子からの束縛力を振り切る →自由電子(free electron) →外部電界によって移動 抜け殻~正孔(hole) 正の電荷、質量 電子伝導と正孔伝導は逆向き 真性半導体では電子密度=正孔密度
1.5不純物半導体 (impurity semiconductor) Ⅴ族不純物添加 Sbの5個の価電子 →4個はSiと共有結合 →1個はSbと弱く結合 →常温でも容易に自由電子 →Sbは正イオンになる 不純物をドナー(donor)と呼ぶ n形半導体(電子伝導が主)
Ⅲ族不純物添加 Gaの3個の価電子 →3個はSiと共有結合 →不足分の1個はSiから調達 →正孔が生ずる →Gaは負イオンになる 不純物をアクセプタ(acceptor)と呼ぶ p形半導体(正孔伝導が主) ドナーとアクセプタが共存する場合 電子密度=正孔密度 補償形半導体
多数キャリヤ(majority carrier) n形半導体では電子 p形半導体では正孔 少数キャリヤ(minority carrier) n形半導体では正孔 p形半導体では電子
演習問題 直径8mm、長さ15mmの円柱状の真性半導体の両端に5Vの電圧を加えた。流れる電流を求めよ。 但し、抵抗率は20Ω・cmとする。