機械（太郎）研究室 日本機械大学大学院 工学研究科 ○○専攻

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1 機械（太郎）研究室 日本機械大学大学院 工学研究科 ○○専攻
フッターは変更不可 ＊プリントサイズの基本はB1縦 ＊注意書きは「グループ化」してあるので， 　いずれかの部分を削除すれば，全て消える． ヘッダー背景は変更不可 図の表記方法．背景色は変更不可 所属の学章，シンボルなどはここへ 学科，専攻名の省略可．企業の場合は，企業名等を表記 発表者の写真(任意） 研究(グループ)のメンバー 研究テーマの表記方法は変更不可．長さは適宜変更可能． 項目の表記方法，背景色は変更不可．項目名は任意． 枠線の大きさ，色は変更不可 連絡先などはここに表記 論文番号 0321 日本機械大学大学院　工学研究科　○○専攻 機械（太郎）研究室 Dept. of ○○, Graduate School of Engineering, Japan Kikai University Kikai (Taro) Lab. 機械　太郎 T. Kikai 機械 太郎教授，技術 さくら准教授 研究テーマ Objective マイクロマシン（MEMS）の研究を通じて，マイクロ・ナノメータ領域で働く機械の科学を探求 Pursuing the science of machine which operates in micro-nano meter order range by research of micro machine (MEMS) 最近の研究課題 Current Topics 1.新しい金属マイクロ材料のコンビナトリアル探索 Combinatorial search for novel metallic materials 　1.1 コンビナトリアル蒸着装置の開発 Development of combinatorial arc plasma deposition equipment 　　　　 アークプラズマガンや新対向ターゲットスパッタを用いた新素材の超効率的探査法 　1.2 新しいアモルファス合金，薄膜金属ガラスの探索 Searching for novel amorphous alloys and novel thin film metallic glasses 　　　　 Ru基薄膜金属ガラスやガラス成形金型用アモルファス合金などの探索 　1.3 コンビナトリアル評価法の開発 Development of combinatorial evaluation methods 　　　　　薄膜ライブラリ上での各種物性のハイスループット評価法の開発 2.アモルファス金属の三次元微細加工法 　3D microfabrication methods for amorphous alloys 　2.1 アモルファス合金の超精密金型への応用 Application to novel amorphous alloys to precision molding die 　　　　　新しいアモルファス合金を超精密金型材料へ適用 3.新しいＭＥＭＳ・マイクロシステム 　Novel MEMS and microsystem 　3.1 超音波リニアマイクロアクチュエータ Ultrasonic linear microactuator 　　　　　小型で高出力，大ストローク可能な超音波マイクロアクチュエータ 　3.2 ウエアラブルセンサ Wearable fabric sensor 　　　　　人工繊維を用いたウエアラブル触覚センサ 　3.3 液滴を用いた小型分析システム Droplet-based Lab-on-a-chip 　　　　　磁性微粒子を搬送子とした小型液滴分析システム 　3.4 経皮吸収剤用生分解性マイクロニードル Biodegradable micro-needle for trans-dermal drug delivery systems 　　　　 無痛薬剤投与システム 　3.5 呼気吸気計測用カテーテル型気流センサ Catheter MEMS flow sensor 　　　　 経気管支的に肺内部での呼気吸気を計測するセンサデバイス 1.1 Combinatorial arc plasma deposition 1.3 Combinatorial evaluation for crystallization temperature 1.3 Outline of rapid micro fatigue test 2.1 Amorphous alloy coated glass molding die with gratings 3.2 Fabric tactile sensor 3.3 Micromachined micro-needle TEL :