イオンスライサーの使用方法 2014/10/9.

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1 イオンスライサーの使用方法 2014/10/9

2 試料準備 電子顕微鏡で観察する試料は 全体で3mmφに収まらなければ なりませんそのためFIG1のような 大きさの試料を準備します。
　電子顕微鏡で観察する試料は 全体で3mmφに収まらなければ なりませんそのためFIG1のような 大きさの試料を準備します。 最大大きさ 2.5—2.8mm 0.5—1mm 3mm FIG1 厚さは１００μ（0.1mm)程度にします このような形に切り出します 観察したい面

3 断面試料の準備 １０：１ １．試料の観察面にエポキシG-2を薄く塗布しで貼り合わせる
　(Harder 1: Resin 10の割合)接着面をクリップ等で押さえる ２．ホットプレート上で加熱する。硬化時間は 　　130℃－15min 120℃－20min 100℃－40min 80℃－90min ３．エポキシが硬化したらスペーサにマウンティングワックス 　　(100℃で軟化　室温で硬化)で貼り付ける ４．断面試料を作成する場合は試料の薄くなる 場所に応じて片面を薄くする必要があります 下図の通り２００μ程度がベストポジションです 200μ程度 スペーサ

4 アイソメットの準備 ２．これを持ち上げ止まったら 押して固定する ４．ここをゆるめてバランスをとる １．水槽に８割くらい水を入れる
　　押して固定する ４．ここをゆるめてバランスをとる １．水槽に８割くらい水を入れる ５．適当なおもりをのせる ３．試料をセットする

5 ４．アイソメットにセットしてFIG2の大きさに切断する ダイヤモンド砥石の厚さが0.35mmを考慮し、まず長辺を
ＦＩＧ２ ４．アイソメットにセットしてFIG2の大きさに切断する 　　ダイヤモンド砥石の厚さが0.35mmを考慮し、まず長辺を 　　カットし、0.5mm程度の厚さの試料にする ５．カットした試料をスペーサにマウンティングワックスで貼り 　　つけ、研磨厚が100μにするため横に両刃のカミソリもつけ 　　ておく。 ６．ハンディラップの治具にスペーサをセットして研磨紙に水 　　を少量垂らしながら100μまで研磨する 　　（Siなどで１往復約５μ～１０μ研磨される）研磨されにくいＳｉＣ 　　などはダイヤモンドシートを使用する ７．試料に研磨砥粒、マウンティングワックスが残らないように 　　アセトンでよく洗う

6 ７．イオンスライサーの標準試料ホルダーを１００℃に温め、
マウンティングワックスを少量つける　あまりつけすぎない ８．平行になるように試料をセットする ９．１が上になるようにイオンスライサーにセットする

7 １．これをよこにたおして ３．試料ホルダー交換棒をセット 　　してスライサーにセットする ４．ロックする ２．ここを持ち上げながら

8 １．中心あわせ顕微鏡をセットする Ｙ方向 ２．試料台固定 つまみをゆるめる X方向 ４．中心があったら固定つまみをロックする ３．試料の中心と厚さの中心を スケールにあわせる

9 マスキングベルトと試料との間隔調整 マスキングベルト 間隔はこの程度 マスキングベルトの 上げ下げ 上側が薄い側
ベルトの動きが悪いときはここ マスキングベルトの 上げ下げ

10 試料の補強 研磨が終了したら 単孔メッシュをのせる エポキシ（５分硬化型）を 0.1mmΦくらいのワイヤー の先端につけ、少量つける
エポキシが固まったら １００℃に熱して外して アセトンで洗う

11 イオンスライサーの原理 マスキングベルト

12 動作 アルゴンイオンビーム マスキングベルト 試料

13 イオン傾斜角度と薄片化する位置（試料エッジから）
薄片化する位置によって傾斜角度を決める。１度以下だと穴がなかなかあかない ので、貼り合わせ面まで薄くなったら傾斜角度を大きくする

14 研磨条件 最初は接着面までの距離を参考に角度を低め1.5°位で研磨し、先端が 接着面を超えて少ししたら、１度程度大きい角度で研磨するのがよい
研磨最先端が接着面に到達した時点が最良 穴のまわりを観察する マスキングベルトの送りは２～３時間を目安に送った方がよい ベルトの幅が細くなってきたらその時点で送る 　　　　メーカーの説明だと２／３位の幅までは可能としているが

15 保守作業 時々透過光源の前面をメチルアルコールでふく、怠ると透過光が極端に暗くなる マスキングベルトを外す ここを押さえながら 透過光源

16 最表面の平面試料の作り方 イオン照射方向 1.0～2.1mm 密着させる 1.0～ 1.45mm １．上記の大きさの試料を切り出す
２．試料支持リングに５分間接着剤でセットする　観察面は裏向き ３．マウンティングワックスで試料をつける ４．固定する

17 ４．平面試料ホルダをセットする ５．試料交換時の試料タイプは平面試料を選択する ６．カセットストッパを挿入しマスキングベルトを 　　解放位置で固定する。 　　試料支持リングがマスキングベルトの役割をする