（株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 6/5 ＠名古屋大学 研磨進捗報告 （株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 6/5 ＠名古屋大学
もくじ もぐらたたきを用いた等圧支持での形状測定 形状補正（全面） 形状補正（端領域） 今後の方針 ・ベタ置きの問題点 ・パッドの速度勾配による形状補正 形状補正（端領域） ・意図的な圧力勾配による形状補正 今後の方針 ・やといの設置
等圧支持でのセグメント形状 鉄板直置き もぐら前後 もぐらたたき 鉄板直置きと、もぐらたたき上での測定形状の差 ～6um！ 研削段階から等圧支持にしておく必要→バネ支持研削
形状補正(全面) 全面研磨時のパッド軌跡と 速度勾配（シミュレーションで決定） 研磨前後の形状差 パッドが完全通過できる領域の形状誤差 →比較的容易に補正可能
シミュレーションを用いた速度勾配決定 1:現在の形状から研磨量の目標を定め、V_max, V_minを決める 2:CGHの高さ情報から各位置での移動速度を決定する 3:位置、速度情報からシミュレータを使い、研磨量を計算 4:現在の形状と比較してV_max, V_minを調整→2に戻る 加工時間～500min. 予想値 結果
形状補正（端領域） 端の研磨不足領域 エッジ付近の形状 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？ エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？
一方行（Z方向）にパッドを動かしたときの研磨量分布 線形の圧力勾配を考慮した研磨量 一方行（Z方向）にパッドを動かしたときの研磨量分布 x z 一様な圧力分布 x方向に線形の圧力勾配 x 研磨量
カップリングのバネを利用 研磨量 法線 法線からエッジ方向に 5度の傾き 法線からエッジ方向に 10度の傾き 圧力勾配による研磨量制御は可能 バネのみで理想的な圧力勾配を生むことはできなかった
バネの補強 ただし、、 再現性に問題 傾きを大きくしすぎるのは危険→バネを強く！ ゴムシートを巻きつけてバネを補強＋φ60パッドに 強化したバネを用いることによって エッジ側から内側に向けて十分な圧力勾配を 生み出すことが出来た ゴムの巻き方、錘の質量、エッジのはみ出し量 のバランスを上手くとる必要 再現可能な最適解を見つける必要 再現性に問題 ただし、、 研磨量
最終形状 円弧の削り残し ２辺交差点の 削り残し 端以外の領域は問題なく形状補正が出来ている
今後の方針：やといの設置 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから パッドが落ちないようにする！ やとい セグメント 設置の方法、段差の問題等、課題はいくつかあるが、 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
まとめ 今後の研削、研磨は等圧支持にして行う必要 ベタ置きでは数umの形状誤差 １枚目セグメントの形状補正研磨 端領域を除いてほぼ仕様を満たすことができた 意図的な圧力勾配による研磨量制御 セットアップ次第で可能であることが分かった 今後の研磨方針 やといを用いて端の問題を回避