（株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 9/18 ＠京都大学 研磨関連報告 （株）ナノオプトニクス・エナジー 高橋啓介 9/18 ＠京都大学
もくじ ・「やとい」つき研磨の流れ ・ナガセインテグレックス製研磨機の構造について ・予定
端の研磨不足領域 エッジ付近の形状 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？ エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？
前回の方針：やといの設置 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから パッドが落ちないようにする！ やとい セグメント 設置の方法、段差の問題等、課題はいくつかあるが、 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
GTC segment by Sagem Sagem：フランスの会社。GTC (Gran Telescopio Canarias)を製作 SPIE proceeding より パッドに対して非常に狭い領域にのみ、やとい設置→端ダレを防ぐ目的のみ？
やといつき研磨の流れ やとい R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ２：セグメントの周囲に設置 →レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） →ナガセ製剣山治具で高さ固定 →ラテラル方向の固定はセグメントとほぼ同じ セグメントが干渉する場所はやとい底の溝で固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨
ナガセインテグレックス製研磨機 山口専務総指揮にて開発中。 ・スライド部はエア軸受け→摩擦なし ・高剛性でガタがほぼなし ・傾き制御はNCで →高精度で制御できれば 意図的な圧力勾配つき研磨可能？ ・早ければ年内に使用可能？
今後の予定 来週～ ・曲率基準鏡研磨 ・やとい用治具発注 ～10月 ～11月 ・やとい用硝材納入 →その後、研削を経てセグメント研磨