Diffusion coefficient (拡散係数) dcA dz
Gas中での拡散 (p.408) Self-diffusion:A成分中へのAの拡散 DAA ∝ (Pの関数) (24-30)式 1 P DAA ∝ T3/2 同じ質量と直径を持つ剛体球からなる 2成分混合物の拡散係数 2成分系の式: (24-33)式 などなど・・・ 1 P
Liquid中での拡散 (p.415) (D)liquid = (D)gas × 10-4 液粘度と密接な関係 DAAμA T DABμB (D)liquid = (D)gas × 10-4 = const. = const. 液B中にAが拡散
固体内を不純物が拡散する際の2つの拡散機構 Vacancy diffusion (空孔拡散) Interstitial diffusion (格子間拡散) 格子欠陥 純粋な(不純物が無い) 結晶内の(自己)拡散 不純物が格子間を 拡散
Solid中での拡散 (p.425) 半導体中への不純物(dopant)の拡散 ⇒Si中へのPの拡散(性能、収率に影響) 鉄のHardening ⇒鉄中のCの拡散(新素材開発)
固体内を不純物が拡散する際の2つの拡散機構 Vacancy diffusion (空孔拡散) Interstitial diffusion (格子間拡散) 格子欠陥 純粋な(不純物が無い) 結晶内の(自己)拡散 不純物が格子間を 拡散
Diffusion coefficient (拡散係数) For gas : 10-5 ~ 10-4 [m2/s] liquid : 10-10 ~ 10-9 [m2/s] solid : 10-34 ~ 10-11 [m2/s]
通常の流体(Gas, Liquid):連続体 分子密度が大きい 分子は多数回の衝突を繰り返しながら 平均自由行程λで運動 mean free path length ・粒子が衝突と衝突の間に進む距離 ・気体分子が他の気体分子に1度衝突してから次に進むまでの飛行距離 例えば、 H2: 0.085 mm O2: 0.049 mm N2: 0.045 mm at 25℃, 1 torr (133 Pa)
<細孔内拡散性 (p. 420)> 真空の時 :λ大(プラズマ) 細孔内 :孔半径 <λ(触媒、膜透過) 気体:粒子(連続体ではない) 気体分子 dpore < λ 気体分子同士が衝突する回数 <<気体分子が壁にぶつかる回数 クヌーセン拡散(Knudsen diffusion)
<クヌーセン拡散> λ 拡散粒子の平均自由行程 dpore 細孔の直径 Kn = = (クヌーセン数) when Kn >1: クヌーセン拡散が重要 dpore一定: p小 T大 液中のλ: 小 クヌーセン拡散はgas系 DAA = DKA = u = Kn大(λ大) λu 3 dporeu 3 8κNT πMA
T MA (24-58)式より DKA ∝ dpore DKA : 細孔径の関数(物性値ではない) cf. 細孔内の水の凝固点 : pの関数ではない (cf. DAB (24-33)式) : ∝ T1/2 (cf. DAB ∝ T3/2)
クヌーセン拡散と分子拡散の両方が存在するとき 1 1-αyA 1 NB DAe DAB DKA NA 両拡散を考慮した (effective)拡散係数 実効拡散係数 α= 0 (NA= -NB) の時: 相互拡散モル数 1 1 1 DAe DAB DKA = + α= 1 + (24-59) 式 = + (24-60) 式
1 1 1 DAe DAB DKA = + 真直ぐな円筒形pore内 実際の細孔:真直ぐではない D’Ae =ε2DAe 空隙率 1 1 1 DAe DAB DKA 真直ぐな円筒形pore内 実際の細孔:真直ぐではない D’Ae =ε2DAe 空隙率 多孔性固体内の細孔の体積 多孔性固体の総体積(固体+細孔) = + (24-60) 式 (24-61) 式 ε=
固体内を不純物が拡散する際の2つの拡散機構 Vacancy diffusion (空孔拡散) Interstitial diffusion (格子間拡散) 格子欠陥 純粋な(不純物が無い) 結晶内の(自己)拡散 不純物が格子間を 拡散
24章のまとめ 拡散係数:単位は? gas中、液中、固体中におけるオーダー 通常は物性値 通常でない場合はどんな場合 固体内拡散の機構 なぜ濃度の濃いほうから薄いほうへ物質移動?
次回(10月31日) ここまでの復習をしておくこと p.430 24.5 (a)の関係を示しなさい P.433からp.435の(25-9) まで読んでくること。